GB 51401-2019 电子工业废气处理工程设计标准(附条文说明).pdf

中华人民共和国国家标准
GB51401-2019
电子工业废气处理工程设计标准
Standard for design of electronic industry emissions treatment engineering
2019-11-22发布
2020-04-01实施
中华人民共和国住房和城乡建设部
国家市场监督管理总局 联合发布

本标准是根据住房和城乡建设部《关于印发(2013年工程建设标准规范制订、修订计划)的通知》建标〔2013)6号的要求，由工业和信息化部电子工业标准化研究院、中国电子工程设计院有限公司会同有关单位共同编制完成。
在标准编制过程中，编写组根据我国的集成电路(IC)、薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)以及新型有机发光显示器(OIED)为代表的电子工厂生产过程中使用的化学品种类及废气污染因子排放的实际情况，进行了广泛的调查研究，收集了有关电子工厂废气污染因子的种类和设计处理要求，认真总结实践经验，同时考虑我国目前生产的现状，参考国外有关的规范标准，广泛征求了全国有关单位与个人意见，最后经审查定稿。
本标准的主要技术内容是：总则、术语、基本规定、工艺及工艺设备、碱性废气系统、酸性废气系统、挥发性有机物废气系统、特种废气系统、除尘系统、电子玻璃窑炉废气系统、事故通风、电气设计等。
本标准中以黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。
本标准由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释，由工业和信息化部负责日常管理，由中国电子工程设计院有限公司负责具体技术内容的解释。执行过程中如有意见或建议，请寄至中国电子工程设计院有限公司《电子工业废气处理工程设计标准》管理组（地址：北京市海淀区西四环北路160号，邮编：100142,传真：010-88193999，邮箱：yandong@ceedi..cn)。本标准主编单位：工业和信息化部电子工业标准化研究院

内容索引：

1总则(1)
2术语(2)
3基本规定(5)
4工艺及工艺设备(12)
4.1一般规定(12)
4.2污染物控制(12)
4.3应急设施(12)
5碱性废气系统(14)
5.1一般规定(14)
5.2处理流程和方法………(14)
5.3处理设备(14)
5.4风管及附件(16)
6酸性废气系统(17）
6.1一般规定(17)
6.2氮氧化物、高浓度酸及电镀废气……………………(17)
7挥发性有机物废气系统(19)
7.1一般规定…(19)
7.2废气收集、排风管道系统(20)
7.3处理系统(20)
7.4处理设备(22)
7.5自动控制及安全措施(24)
8特种废气系统(26)
8.1一般规定(26)
8.2烷类尾气处理系统……………(26）
8.3全氟化合物(PFC)尾气处理系统27
8.4其他特种尾气处理系统28
8.5中央废气处理系统28
9除尘系统30
9.1一般规定(30)
9.2系统设计、处理流程及方法(30)
9.3处理设备………………(32)
9.4风管及附件(33)
10电子玻璃窑炉废气系统(36)
10.1一般规定………(36)
10.2系统设计、处理流程及方法(36)
10.3处理设备……(37)
10.4风管及附件(39)
11事故通风…(40)
11.1-般规定(40)
11.2系统设计及有害气体净化(41)
12电气设计…(44)
12.1供配电与照明(44)
12.2防雷与接地…………………(44)
附录A电子工业常用高毒物品的立即危害生命和健康浓度(IDIH)(46)
本标准用词说明……(47)
引用标准名录(48)
附：条文说明(49)

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