NFPA-318（简体中文版）无尘室防护标准

内容摘抄：

NFPA318
无尘室防护标准
(Standard for the Protection of Cleanrooms;1995 Edition)

第一章 概述
1.1范围
此标准适用于所有本篇所定义之无尘室及洁净区之半导体厂。
1.2目的
本标准旨在提供无尘室避免火灾及相关危害合理的安全防护,而这些防护措施可避免或减少 人员及财产之损害。
1.3应用
此标准所考虑是以合理的预防火灾及爆炸,避免造成人员伤亡及财产之损害,此时所需考虑之 环境状况及活动状态为本标准所讨论之重点;除非其它地方有所规范,否则本标准不用于要求已经安装完成设备除非在该状态下已造成生命危害或邻进近地区之财产损失。
1.4名词定义
§高架地板系统(Access Floor System)
配电盘架设于基座上以提供地面下空间供安装机械通讯或作为供风或回风空间。
§管辖权(Authority Having Jurisdiction)
组织部门或个人负责对设备安装或制程之认可,在NFPA, 管辖权会随区域有所变化,可能是联邦,州,地区或地区部门,或个人可能是消防首长,副首长,州消防局长机动小组或卫生局营建部门及其它经法律授权的单位。
保险公司亦有检查权,原设计或拥有者亦有此权利。

§洁净区(Clean Zone)
定义为区间内之空气中之灰尘粒子浓度控制在一定的范围内。

§无尘室(Clean Room)
定义为房间内之空气中之灰尘粒子浓度控制在一定的范围内。

§压缩气体(Compressed Gas)
于容器中之任何气体或混合气体其在70OF(21.1℃)时,绝对压力大于40psi(275.8Kpa);或在
70 OF时绝对压力小于40psi,但在130OF(54.4℃)时其压力大于104psi;或易燃性气体在100 OF
(37.8℃)时,其蒸气压大于40psi称为压缩气体。

§爆炸(Explosion)
气体体积突然的扩增,可能为化学性质(如氧化)的改变或物理性质(压力筒破裂)的变化。

§易燃性蒸气(Flammable Vapors)
易燃性物质之蒸气在空气中的蒸气浓度大于其最低燃烧限制(LFL)的10%称为易燃性蒸气。

§危害性化学品(Hazardous Chemical)
任何固液气体其具有深度危害健康等级、易燃性及反应性经NFPA704(Standard System for the Identification of the Fire Hazards of Materials)评定为Class 3,4者称为危害性化学品。

§接口(Interface)
数个独立系统会合于此,并经此互相运作或联络。

§互锁(Interlock)
当机器操作一动作时会自动引起其它动作或暂停执行其它动作。

§液体(Liquid)
可燃性液体(Combustible Liquid)
液体之闪点大(等)于100 OF可分为以下几类：
(1) Class II Liquids：闪点介于100 OF和140 OF之间
(2)Class IIIA Liquids：闪点介于140 OF和200 OF之间
(3)Class IIIB Liquids：闪点大于200 OF

易燃性液体(Flammable Liquids)
为Class I Liquids,闪点低于100 OF,且在100 OF时蒸气压小于40psi,可分为以下几类：
(1) Class IA Liquids,闪点低于73 OF,沸点低于100 OF
(2) Class IB Liquids,闪点低于73 OF,沸点高于100 OF
(3) Class IC Liquids,闪点介于73 OF ~100 OF之间

§检验合格(Listed)
设备或材质经具管辖权的单位评估认可。

§非可燃物(Noncombustible)
通过ASTME136(Standard Test Method for Behavior of Materials in a Vertical Tube Furnace at 750 Degrees C)测试通过,于正常状况下以火焰或高温测试不会自燃,助燃或释放可燃性蒸气者称之为非可燃物。

§传递窗(Pass-through)
在墙边做一密闭围篱(enclosure)两边开门用以传送化学品材料设备。

§自燃物(Pyrophoric)
在空气中其自燃温度低于130 OF(54.4℃)之化学物质。

§限制流量的节流器(Restricted Flow Orifice)
在气体钢瓶阀体限制最大流率在30 L/min(1.06 ft3/min)。

§烟雾(Smoke)
当物质和空气进行高温分解或燃烧所产生传播于空气中的固体及液体粒子和空气的混合物。

§待机模式(Standyby Mode)
当易燃之气体或液体因受热产生危险而将电源关闭(除了控制电源外)之模式称为待机模式。

§非当事双方之顾问(Third Party)
为一专业并受过训练合格有经验之人士能针对制程设备依标准进行危害分析。

§工具(Tools)
在无尘室中使用之机件,储存容器,工作站或制程设备。

§工作站(Work Station)
在无尘室中使用危害性化学物品的特定空间,或独立设备配置有抽风设备、火灾保护设备、气体及其它危害物的侦测器电力装置及其它制程设备。

第二章 火灾之保护
2-1自动灭火系统(Automatic Fire Extinguishing System)
2-1.1概述
在无尘室及无尘区需装设自动撒水系统。

2-1.2自动撒水系统(Automatic Sprinkler system)
2-1.2.1无尘室或无尘区之自动撒水系统依NFPA13,Standard for the Installation of Sprinkler
System安装,若设计面积大于3000ft2 (278.8m2),水力设计之密度为0.2gpm/ft2 (8.15
Lpm/m2) 设计。

投稿会员：西沙观海