FM Global Property Losss Prevention Data Sheets 7-7R -2003

内容索引（翻译后）：

1.0 范围 3
2.0 支持建议 3
2.1 过程危害 3
2.1.1 气体（一般） 3
2.1.1.1 硅烷 6
2.1.1.2 二氯硅烷 6
2.1.1.3 三氯硅烷 6
2.1.1.4 三氟化氯 6
2.1.1.5 氢气 7
2.1.2 光刻胶、显影液和冲洗液 7
2.1.3 塑料湿凳 8
2.1.4 塑料管道系统 8
2.1.5 真空泵 9
2.1.6 离子注入器 10
2.1.6.1 离子注入器高压直流电源 10
2.1.6.2 离子注入器隔离变压器 10
2.1.6.3 离子注入器——美国国家电气规范 (NEC) 对变压器的要求 11
2.1.6.4 美国变压器国家标准-C57.12.22-1989 11
2.1.6.5 离子注入机损失经验 12
2.1.7 扩散 12
2.1.8 溢出危险 12
2.2 湿凳的火灾隐患 13
2.2.1 FM Approvals 在湿台上进行的防火测试 13
2.3 FM Approvals 洁净室材料可燃性测试协议（4910 级） 14
2.4 FM 批准的管道系统 14
2.5 堆垛机的火灾隐患 15
2.6 硅烷气体 15
2.7 电气暴露 16
2.8 去离子 (DI) 水系统 16
3.0 流程概述 16
3.1 废气处理系统 21
3.2 洁净室概述 21
3.3 处理工具 24
3.3.1 化学机械抛光 25
3.3.2 酒精蒸汽干燥机 25
3.3.3 再处理器 25
3.3.4 微型环境外壳 25
3.3.5 真空泵 26
3.4 大宗化学品分布 26
3.5 液体损坏暴露 26
3.6 防盗保护 27
3.7 不间断电源概述 28
4.0 其他适用的规范和标准 28
4.1 美国建筑规范 28
4.2 NFPA 318 29
4.3 半 S-2 29
4.4 国际规范 30
4.5 ISO 国际洁净室标准 31
4.5.1 ISO 14644-1 空气洁净度分类 32
5.0 半导体术语 33
6.0 参考书目 38
图列表
图 1. 工艺气体分配装置 4
图 2. 湿台自由燃烧试验 13
图 3. 半导体制造流程图 17
图 4. 半导体制造设施系统图 . 18
图 5. 清洁区服务通道 . 22
图 6. 工具服务走廊 . 23
图 7. 湿式工作台和相关排烟管道的各种布置 24
表列表
表 1. 制造 5 中使用的气体
表 2. 硅烷混合物 6
表 3. 制造中使用的易燃和可燃液体 8
表 4. 过程反应 9
表 5. 制造中使用的真空应用 10
表 6. 材料命名和使用 14
表 7. 常见的非易燃半导体工艺液体 26
表 8. 可能的水害源 27
表 9. 洁净室和洁净区的选定空气悬浮颗粒洁净室等级
由 ISO 14644-1 32 定义
表 10. 不同洁净室等级标准之间的比较 32

投稿会员：西沙观海