DB15/T 1241-2017 硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法
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所属分类：其他规范
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资源简介/截图：
ICS 77.040
H17
备案号：55654-2017 DB15
内蒙古自治区地方标准
DB15/T1241-2017
硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定
气相色谱法
Si lanes Determination of silane content in tail gas from
polycrystalline silicon Gas chromatographic method
2017-09-10发布 2017-12-10实施
内蒙古自抬区质量技术监督局 发布
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。
本标准由内蒙古神舟硅业有限责任公司提出。
本标准由内蒙古自治区质量技术监督局归口。
本标准起草单位：内蒙古神舟硅业有限责任公司。
本标准主要起草人员：刘淑萍、宗凤云、李辉、赵英、曹忠、陈大勇、董燕军、赫兰英、宋佳宁、杨媛丽、张文慧。
内容摘要：
硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定气相色谱法
警告一使用本标准的人员应有正规实验室工作的实践经验。本标准并未指出所有可能的安全问题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。
1 范围
本标准规定了硅烷法生产多品硅尾气中硅烷含量检验的试剂、仪器、试样、分析步骤、分析结果计算、精密度、试验报告等要求。
本标准适用于硅烷法生产多品硅尾气中硅烷含量的测定。测定范围为0.050%一10.00%。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。
凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T3723工业用化学产品采样安全通则
GB/T6681气体化工产品采样通则
3 方法提要
硅烷法生产多品硅尾气样品通过气体进样口注入气相色谱仪，硅烷组分经色谱柱分离后，用热导检测器(TCD)检测，外标法定量。
4 干扰因素
4.1取样和进样前，取样系统和进样系统应经过充分置换，防止影响测试结果。
4.2取样钢瓶应保持密闭性，否则样品泄露会影响分析结果的准确性。
4.3尾气压力应保持在合适的范围，尾气压力0.030MPa一0.20MPa,流量不大于500mL/min.
5 试剂
5.1高纯氢气：体积分数≥99.999%.
5.2氮气：体积分数≥99.99%.（略）
警告一使用本标准的人员应有正规实验室工作的实践经验。本标准并未指出所有可能的安全问题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。
1 范围
本标准规定了硅烷法生产多品硅尾气中硅烷含量检验的试剂、仪器、试样、分析步骤、分析结果计算、精密度、试验报告等要求。
本标准适用于硅烷法生产多品硅尾气中硅烷含量的测定。测定范围为0.050%一10.00%。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。
凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T3723工业用化学产品采样安全通则
GB/T6681气体化工产品采样通则
3 方法提要
硅烷法生产多品硅尾气样品通过气体进样口注入气相色谱仪，硅烷组分经色谱柱分离后，用热导检测器(TCD)检测，外标法定量。
4 干扰因素
4.1取样和进样前，取样系统和进样系统应经过充分置换，防止影响测试结果。
4.2取样钢瓶应保持密闭性，否则样品泄露会影响分析结果的准确性。
4.3尾气压力应保持在合适的范围，尾气压力0.030MPa一0.20MPa,流量不大于500mL/min.
5 试剂
5.1高纯氢气：体积分数≥99.999%.
5.2氮气：体积分数≥99.99%.（略）