GB/T11446.1-2013 电子级水

ICS31-030
L.90 GB
中华人民共和国国家标准
GB/T11446.1-2013代替GB/T11446.1一1997
电子级水
Electronic grade water

2013-12-31发布 2014-08-15实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布

前言
GB/T11446预计结构如下：
GB/T11446.1电子级水：
GB/T11446.2(待定)：
GB/T11446.3电子级水测试方法通则：
GB/T11446,4电子级水电阻率的测试方法：
GB/T11446.5电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法：
GB/T11446,6电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法：
GB/T11446.7电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法：
GB/T11446.8电子级水中总有机碳的测试方法：
GB/T11446.9电子级水中微粒的仪器测试方法：
GB/T11446.10电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法.
本部分为GB/T11446的第1部分
本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草
本部分代替GB/T11446.1一1997《电子级水》.
本部分与GB/T11446.1一1997相比，主要有下列变化：
一“3术语和定义”中增加了“离子交换树脂”，“无菌”和“pH”的定义（见第3章）
修改了“5要求"中“EW-Ⅱ”、“EW-Ⅲ”和“EW-N”级水的电阻率指标（见第5章）：
一修订了“5要求”中“EW-I"、“EW-Ⅱ”、“EW-Ⅲ”和“EW-W”级水的微粒数指标（见第5章）：
“5要求”中增加了“铁”和“韶”金属离子及“氟”、“亚硝酸根”和“溴”阴离子的要求和指标（见第5章)：
“6试验方法”中增加了“铁”，“铅”，“氟离子”、“亚硝酸根离子”和“溴离子”的检测方法（见第6章)。
本部分由中华人民共和国工业和信息化部提出。
本部分由中国电子技术标准化研究院归口。
本部分起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所、中国电子技术标准化研究院、中国电子科技集团公司第圆十六研究所
本部分主要起草人：褚连青，王奕，何秀坤，段曙光，超刘旺、刘筠。
本部分所代替标准的历次板木发布情况为：
GB/T11446.1-1989.GB/T11446.1-1997.

1范围
GB/T11446的本部分规定了电子级水的级别.技术指标要求，试验方法和检验规则，
本部分适用于电子和半导体工业用高纯清洗用水
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件，
GB/T11446.3-2013电子级水测试方法通则
GB/T11446.4一2013电子级水电阻率的测试方法
GB/T11446.5一2013电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法
GB/T11446.6一2013电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法
GB/T11446.7-2013电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法
GB/T11446.8-2013电子级水中总有机碳的测试方法
GB/T11446.9-2013电子级水中微粒的仪器测试方法
GB/T11446.10一2013电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件.
3.1
电子级水electronic grade water
电子和半导体工艺过程中所用的高纯水。
3.2
电阻奉resistivity
在规定温度下，1©m'(正立方休)水溶液两相对面之间测得的电阻值。通常用符号P表示，单位为欧姆厘米(D·cm),纯水的理论电阻率为18.3Mn·cm(25℃).
3.3
全硅total silicon
水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量，

3.4
可容性硅soluble silicon
以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐。
3.5
微粒性物质granular matter
除气体以外，以非液态分散在水中，并形成非均相混合物的物质。

3.6
总有机碳total organic carbon,TOC
水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化的有机物。
3.7
吸附absorption
某些多孔性粒状物质由于表面活性作用而具有吸着某些物质的现象
3.8
凝聚coagulation
在源水中加人某种电解质后，水中带有电荷的胶体微粒被电解质中的异种电荷中和，从而使其聚集
成较大颗粒面沉降的现象
3.9
絮凝flocculation
水中的微粒在一定条件下相互碰撞而集结为絮状沉淀的现象，絮凝一假是在凝聚作用后缓慢进
行，可除去水中更细的微粒，
3.10
砂滤器sand filter
用于接放不同直径的砂粒，以除去源水中悬浮固体和混浊物的装置。
3.11
活性碳过滤器activated carbon filter
装有粒状语性碳的过波器，用于除去水中的可蒂性有机物和过量的我余氯，
3.12
离子交换ion exchange
一种不溶性物质与一种液体之间相互交换离子的可逆过程，该过程中物质并无实质性结构变化。
3.13
离子交换树脂ion-exchange resin
一种合成的有机离子交换材料，

4分和标记
4.1分类
电子级水分为四个级别：I级，Ⅱ级，Ⅲ级和V级.
4.2标记
I级电子级水标记为：EW-I。
Ⅱ级电子级水标记为：EW-Ⅱ，
Ⅲ级电子级水标记为：EW-Ⅲ。
V级电子级水标记为：EW-V。

投稿会员：I\m your King