高清正式版 GB/T 25915.1~15 洁净室及相关受控环境 第一至十五部分合集( 更新至2023版)

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文件1: GB T 25915.1-2021洁净室及相关受控环境 第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级(24.88MB)
文件2: GB T 25915.2-2021洁净室及相关受控环境 第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测(12.53MB)
文件3: GB T 25915.3-2010洁净室及相关受控环境 第3部分:检测方法(2.36MB)
文件4: GB T 25915.4-2010洁净室及相关受控环境 第4部分:设计、建造、启动(1.64MB)
文件5: GB T 25915.5-2010洁净室及相关受控环境 第5部分:运行(1.87MB)
文件6: GB T 25915.6-2010洁净室及相关受控环境 第6部分:词汇(854.53KB)
文件7: GB T 25915.7-2010 洁净室及相关受控环境 第7部分:隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境)(2.73MB)
文件8: GB T 25915.8-2021洁净室及相关受控环境 第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级(774.44KB)
文件9: GB T 25915.9-2018洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级(2.79MB)
文件10: GB T 25915.12-2021 洁净室及相关受控环境 第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求(477.61KB)
文件11: GB T 25915.10-2021洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级(31.02MB)
文件12: GB T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁(11.4MB)
文件13: GB T 25915.14-2022 洁净室及相关受控环境 第14部分:按粒子浓度评估设备适用性(7.08MB)
文件14: GB T 25915.15-2022 洁净室及相关受控环境 第15部分:按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性(6.11MB)

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