正式版 GB/T 25915.9-2018 洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级.pdf

ICS13.040.35 C70 GB 中华人民共和国国家标雅 GB/T25915.9-2018/ISO14644-9:2012 洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级 Cleanrooms and associated controlled environments- Part 9:Classification of surface cleanliness by particle concentration (ISO14644-9:2012 IDT) 2018-06-07发布 2018-10-01实施 国家市场监督管理总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T25915.9-2018/ISO14644-9:2012 目 次 前言 Ⅲ 引言 N 1范围 1 2规范性引用文件1 3术语和定义 4缩略语 2 5分级体系 2 6符合性的证实 5 附录A(资料性附录)表面特性 7 附录B(资料性附录)特定粒径范围描述符 10 附录C(资料性附录)影响SCP分级的参数 12 附录D(资料性附录)按粒子浓度确定表面洁净度的测量方法14 参考文献 21 I GB/T25915.9-2018/ISO14644-9:2012 前言 GB/T25915《洁净室及相关受控环境》包含10个部分： —第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级； —第2部分：证实持续符合GB/T25915.1的监测和定期测试技术条件； —第3部分：检测方法； —第4部分：设计、建造和启动； 第5部分：运行； 第6部分：词汇； 第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）； 第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度等级； —第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级； —第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级. 本部分为GB/T25915的第9部分. 本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本部分使用翻译法等同采用ISO14644-9:2012《洁净室及相关受控环境第9部分：按粒子浓度划 分表面洁净度等级》. 本部分由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319)提出并归口. 本部分起草单位：中天道成（苏州）洁净技术有限公司、深圳市吉隆洁净技术有限公司、苏州安泰空 气技术有限公司、苏州工业园区嘉合环境技术工程有限公司、苏州净化工程安装有限公司、中国电子工 程设计院、中电投工程研究检测评定中心、中国电子学会洁净技术分会、深圳市亿天净化技术有限公司、 北京世源希达工程技术公司、中国工程物理研究院八所、深圳新科特种装饰工程公司. 本部分主要起草人：姜皓遐、殷晓冬、王大千、黄吉辉、金真、袁晓东、蒋乃军、王尧、张利群、夏群艳、 苏钢民、吴晓媛、石小雷、邴绍同. Ⅲ ...