ICS23.160 CCSJ78 中华人民共和国国家标准 GB/T3163-2024 代替GB/T3163-2007 真空技术 术语 Vacuum technology-Vocabulary （ISO3529-1:2019.Vacuum technology-Vocabulary-Part1:General terms MOD; ISO3529-2:2020 Vacuum technology-Vocabulary-Part 2:Vacuum pumps and related terms MOD;ISO3529-3:2014，Vacuum technology-Vocabulary- Part 3:Total and partial pressure vacuum gauges MOD) 2024-09-29发布 2024-09-29实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
GB/T 3163-2024 目 次 前言 1范围 2规范性引用文件 3术语和定义 3.1基础术语.. 3.2真空泵及相关术语 3.3全压和分压真空计术语 61 3.4真空系统及有关术语 27 3.5检漏及有关术语 34 3.6真空镀膜技术术语 3.7真空冶金术语 43 4符号 48 附录B（资料性）本文件与ISO3529-1：2019 ISO3529-2：2020和ISO3529-3：2014技术差异 及原因 69 附录C（资料性） 真空泵分类图谱. 61 附录D（资料性） 全压真空计树形图谱 62 参考文献 24: 63 索引 64
GB/T3163-2024 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草.
本文件代替GB/T3163-2007（真空技术术语），与GB/T3163-2007相比，除结构调整和编辑 性改动外，主要技术变化如下： 一更改了本文件的适用范围（见第1章，2007年版的第1章）； （8集）- -更改了“真空区域”"压力”"未饱和蒸气”等28条术语（见第3章，2007年版的第2章、第3章、 第4章、第5章和第6章）： 1（享集时9集享1集 删除了有关真空干燥和冷冻干燥的术语（见2007年版的第8章）； -删除了有关表面分析技术的术语（见2007年版的第9章）； 更改了“符号”（见第4章，2007年版的附录B）； 删除了附录“在采用国际单位制（SI制）之前使用的压力单位和换算系数”（见2007年版的附 录A).
本文件修改采用1SO3529-1：20194真空技术词汇第1部分：基础术语）、ISO3529-2：2020《真 空技术词汇第2部分：真空泵及相关术语》和ISO3529-3：2014《真空技术词汇第3部分：全压 和分压真空计》.
本文件与1SO3529-1：2019、1SO3529-2：2020和ISO3529-3：2014相比.在结构上有较多调整，两 个文件之间的结构编号变化对照一览表见附录A， 本文件与ISO3529-1：2019、1SO3529-2：2020和ISO3529-3：2014相比，存在较多技术差异，在所 涉及的条款外侧页边空白位置用垂直单线（1）进行了标示，这些技术差异及其原因一览表见附录B 本文件做了下列编辑性改动： 一为与现有标准协调，将标准名称改为《真空技术术语》： -出于使用者易于查询术语来源的考虑，用GB/T40344.1-2021全文替换ISO21360-1：2012： 增加了附录A（资料性）本文件与ISO3529-1：2019、1SO3529-2：2020和ISO3529-3：2014结 构编号对照情况： -增加了附录B（资料性）“本文件与ISO3529-1：2019、1SO3529-2：2020和ISO3529-3：2014技 术差异及原因”： 增加了索引，便于引用.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.
本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由中国机械工业联合会提出.
本文件由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口 本文件起草单位：东北大学、台州职业技术学院、浙江飞越机电有限公司、兰州空间技术物理研究 所、淄博真空设备厂有限公司、北京东方计量测试研究所、合肥工业大学、浙江博亚精密机械有限公司、 沈阳真空技术研究限公司、沈阳理工大学、暨南大学、安微方端冷电科技有限公司、中科九微科技有 限公司、兰州真空设备有限公司、泊肃叶科技（沈阳）有限公司、湘潭宏大真空技术股份有限公司、广东欧 莱高新材料股份有限公司、台州瑞品机电有限公司、中山火炬职业技术学院、南京真空泵广有限公司、
GB/T3163-2024 北京通嘉宏瑞科技有限公司、北京航空材料研究院股份有限公司、沈阳汇真真空技术有限公司， 本文件主要起草人：刘坤、李得天、巴德纯、张以忧、张宝夫、蒋友荣、黄国普、赵澜、张虎忠、徐法俭、 黄志婷、卢耀文、王旭迪、王晓冬、张世伟、陆学贵、吴晓云、宋青竹、迟小宇、谢元华、赵新颖、杜雪峰、刘彭义、 汪澎、周家屹、邓高飞、石晓强、马强、李成林、陈正伟、黄乐、邹凯、卢宽宽、郭文斌、王丽荣、胡世苓、 冯磊、杜广煜、巴要师、陈树雷、魏民、郝明、王桂鹏、孟冬辉、张华霞、万旭杰、李松波、曹青、王欢、乔忠路、 王玲玲.
本文件于1982年首次发布，1993年第一次修订，2007年第二次修订，本次为第三次修订.
GB/T 3163-2024 真空技术术语 1范围 本文件界定了真空技术领域常用的基础术语、真空泵及相关术语、全压和分压真空计术语、真空系 统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空冶金术语，及上述术语的定义.
本文件适用于真空技术领域及相关的教学、科研、设计、制造、技术交流，以及编写相关技术文件和 书刊.
2规范性引用文件 本文件没有规范性引用文件.
3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件.
3.1基础术语 3.1.1一般术语 3.1.1.1 真空 低于大气压力或大气分子密度的稀薄气体状态或基于该状态的环境.
3.1.1.2 真空区域ranges ofvacuum 根据一定压力范围对真空各区域进行的划分.
注1：压力范围在选定时会略有差异，广为认可的典型真空度范围见表1. 注2：地面气压取决于天气状况和海拨高度，气压范围从31kPs（珠穆朗玛峰的海拨高度和天气状况为气压低点） 到110kPa（死海的海拔高度和天气状况为气压高点）不等.
表1典型真空区域 压力范围 定义 划分理由（典型情况） ≥1×10²Ps~<大气压 低（租）真空 (31 kPa~110 kPs) 式真空泵获得：气体处于黏性流态 ≥1×10Pa~<1×10²Pa 中真空 压力能通过精密的材料（如不锈钢）和容积式 真空泵获得：气体处于过渡流态 ≥1×10 Pa~<1× 10~ /Ps 高真空（HV) 压力能通过精密的材料（如不锈钢）、弹性体密 封和高真空泵获得：气体处于分子流态
