洁净厂房的设计与施工（第二版）.pdf

前 言 洁净厂房的设计与施工 本书2003年出版第一版，自出版发行以来，深受广大洁净厂房/洁净室设计、施工和远行维 护人员以及大专院校相关专业师生的欢迎，并得到了从事洁净技术同行们在专业论文、著作等的 广泛阅读参考与引用。

国内外洁净技术的发展都是随着科学技术的发展、工业产品的日新月异，特别是军事工业、 航天、电子和生物制药等工业的发展而不断发展的。

现代商科技产品生产和现代化科研实验活动 要求微型化、精密化、高纯度、商质量和高可靠性，如以集成电路芯片制造为代表的微电子产品 生产提出严格洁净环境和大面积、大体量、高投入的要求，集成电路的线宽已从衡米级发展到纳 米级。

为满足高速发展的“洁净生产环境”要求，洁净技术的综合技术特性日益显现，集成电路 芯片生产不仅要求洁净度等级达到ISO1~3级和严格控制分子污染物，暂且还要求设置多品种商 纯/超纯物质一高纯水/超纯水、商纯气体（特种气体）、高纯化学品等的供应系统：生物制药洁 净室不仅应具有规定的洁净度等级，还应具有可靠的消毒、灭菌技术措施。

为此，21世纪初以来 我国从事洁净技术科研、设计、建造和运行管理的料技人员，在已经制定、实施的“洁净厂房/洁 净室”标准的基础上，制定、修订了数十项（包哲部分关联密切的相关专业技术）标准，国际标 准化组织和各国同行也制定、修订了若干涉及活净技术的标准。

本书第二版正是依据上述需要和 我院（中国电子工程设计院有限公司）近年来洁净厂房/洁净室设计、建造、检测和标准规范制 定、修订等方面积累的实践经验、各种技术资料（调研、测试报告）等，组织相关科技人员进行 整理、编著的，井特邀具有车富洁净厂房/洁净室工程建设施工、调试和检测、运行管理等实践经 验的中国电子系统工程第二建设有限公司、第四建设有限公司以及上海科信检测技术有限公司、 北京中电凯尔设施管理有限公司的有关人员参加编写本书的相关部分。

本书的编写仍秉承内容力 求实用、简练。

以满足从事洁净厂房/洁净室设计、施工和运行管理的科技人员的需要。

本书第二版的编写人员有中国电子工程设计院有限公司的陈霖新、张利群、晃阳、秦学礼、 肖红梅、间冬、杨朝辉、王凌旭、周向荣、牛光宏、陈蹦、俞渭雄、刘激、田超贺、杨新字等。

中国电子系统工程第二建设有限公司的施红平、吴建华、杨九样、董连东，中国电子系统工程第 四建设有限公司的方铜良、程航、石小碳，上海科信检测科技有限公司的陈思源、彭永昌，北京 中电凯尔设施管理有限公司的冯卫中，本书中的一些内容采用了同行专家学者发表或未发表的专 著、论文的相关内容，有的同行还损供了他们掌握的资料和数据，在此特向他们致以该挚的谢意。

本书的编写得到了中国电子工程设计院有限公司原院长、中国电子学会洁净技术分会前主任 委员、《洁净与空调技术》主编王尧的大力支持、指导，并由其审查定稿。

由于编写人员的水平有限，难免存在缺点与不足，望同行、读者批评指正。

编著者 2022年1月
前第 言版 一 洁净厂房的设计与版工 洁净厂房设计（洁净室设计）是洁净技术的重要组成部分，随着科学技术日新月异的发展， 各类工业产品加工生产过程趋向精密化、微型化，特别是微电子技术、生物技术、药品生产技术、 精密机械加工技术、精细化工生产技术、食品加工技术等的高速发展，使洁净技术得到日益广泛 的应用。

洁净室的空气洁净度等级已从过去的几个等级扩展到现在的数十个等报，受控环境中控 制微粒的粒径已从0.5m缩小到0.025um，甚至更为严格的要求；洁净生产环境的控制技术也从 控制洁净室的空气洁净度扩展到相关工业产品生产过程所涉及的各类工艺介质、化学品、微振动、 静电的严格控制。

为适应这些要求，洁净室已从一般洁净室形式逐步发展到隧道式洁净室、开放 式洁净室+隔离装置、微环境等多种形式：国际标准化组织制定的ISO14644和ISO14698系列洁 净室标准从1999年开始相继颁布实施，为各国洁净技术的发展提供了重要依据和统一的技术标 准。

我国的国家标准《洁净厂房设计规范》GB50073-2001已发布实施，其中洁净室的空气洁净 度等级采用了ISO14644-1中的相关部分，这是我国的洁净厂房设计、建造逐步融入国际洁净技术 标准迈出的重宴步伐。

为适应各行各业洁净厂房设计、建造的需宴，我们编写了《浩净厂房的设 计与施工》一节。

本书的编写是依据我院（中国电子工程设计院）多年从事洁净厂房设计工作积 累的实践经验，技术资料和近年侈订《洁净厂房设计规范》过程中所得到的各种技术资料，组织 设计人员进行整理、编著，井特邀具有丰富浩净室施工经验的中国电子系统工程第二建设公司组 织编写洁净室施工部分。

本苦编写的内容力求实用、简练，以满足从事洁净室设计、施工的技术 人员的需要。

本苦的编...

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