GB/T 41073-2021 表面化学分析 电子能谱 X射线光电子能谱峰拟合报告的基本要求

ICS71.040.40
CCS G04 GB
中华人民共和国国家标准
GB/T41073—2021/ISO19830:2015
表面化学分析 电子能谱 X射线
光电子能谱峰拟合报告的基本要求

Surface chemical analysis-Electron spectroscopies-Minimum reporting requirements for peak fitting in X-ray photoelectron spectroscopy
(IS019830:2015,IDT)
2021-12-31发布 2022-07-01实施
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布

1范围
本文件规定了如何报告X射线光电子能谱的峰拟合及其结果。
本文件适用于单个谱图或一组相关谱图的拟合，例如在深度剖析测试中采集获得的一组相关谱图。
本文件提供了一个应报告的参数列表，以实现可重复的峰拟合或对多个谱进行拟合与比较。
本文件不提供峰拟合的操作说明，也不提供应采用的拟合步骤。
2规范性引用文件
本文件没有规范性引用文件。
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
非弹性本底background,inelastic
由于单次或多次非弹性散射过程，原本处于一种能量的粒子现以较低能量被发射时在谐图中的强度分布。
[来源：ISO18115-1,4.50]
3.2
Shirley本底background,Shirley
在动能高于和低于该峰或有意义峰处拟合测量谱时计算的本底，这样在给定动能处的本底是以与本底以上较高动能处的总峰面积成固定比例的成分。
[来源：ISO18115-1:2010,4.54]

3.3
Tougaard本底background,Tougaard
用相对于能量损失的微分非弹性散射截面模型和表面区发射原子的三维分布模型所得到的强度分布。
[来源：ISO18115-1:2010,4.57]
3.4
通能pass energy
位于能量分析器中的能量色散区被测粒子的平均动能。
[来源：ISO18115-1:2010,4.325]
3.5
峰拟合peak fitting
调整峰合成所产生的谱图与测得的谱图相一致的步骤。

3.6
峰合成peak synthesis
为拟合谱峰使用模型或实验峰形合成谱的过程。其间需调节峰个数、峰形、峰宽、峰位、峰强度以及本底形状和强度。
[来源：ISO18115-1:2010,4.329]
3.7
残差谱residual spectrum
实验采集谱与拟合合成谱之差。
4符号和缩略语
4.1缩略语
下列缩略语适用于本文件。
BE
结合能(binding energy)
eV
电子伏(electron volt)
FWHM半高峰宽(full width at half maximum)
L/G
由高斯与洛伦兹函数线性组合构成的准Voigt函数峰中，洛伦兹组分与高斯组分的强度
比(ratio of the intensity of the Lorentzian component to the Gaussian component of a pseudo Voigt peak consisting of the sum of a Gaussian and a Lorentzian function)
PE
通能(pass energy)
XPS
X射线光电子能谱(X-ray photoelectron spectroscopy)

投稿会员：芳华