GB/T 29732-2021 表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准

ICS71.040.40
CCS G04
中华人民共和国国家标准
GB/T29732-2021/IS017973:2016代替GB/T29732—2013
表面化学分析
中等分辨俄歇电子能谱仪
元素分析用能量标校准

Surface chemical analysis-Medium resolution auger electron spectrometers-Calibration of energy scales for elemental analysis
(IS017973:2016,IDT)
2021-12-31发布 2022-07-01实施
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布

1范围
本文件规定了俄歇电子能谱仪动能能量标不确定度为3V时的校准方法，用于识别表面常规元素。另外，本文件还规定了一种用于确定校准周期的方法。
本文件适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于或等于0.5%，微分模式调制幅度的峰值为2eV,配有惰性气体离子枪或其他样品清洁方法，具有4keV或更高束能电子枪的谱仪。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
ISO18115表面化学分析词汇(Surface chemical analysis一Vocabulary)
注：GB/T22461一2008表面化学分析词汇(ISO18115:2001,IDT)
3术语和定义
IS018115界定的术语和定义适用于本文件。

4符号和缩略语
下列符号和缩略语适用于本文件。
AES
俄歇电子能谱
a
测得的能量标误差
b
测得的零点偏移误差，以电子伏特(eV)为单位
E corr
校准Em后的动能结果，以eV为单位
E mess
测得的动能，以eV为单位
Emes.n
表1中对第n个峰测得的动能，以eV为单位
.n
表1中对第n个峰的动能参考值，以eV为单位
FWHM
半高峰宽，以eV为单位
W
峰的FWHM
△，
偏移能量，对于=1,2,3,4的峰（见表1），由测量校准峰动能的平均减去参考动能值给出，以eV为单位
△Eo
校准后对Em附加的校正，以提供校正的动能结果
B
模拟系统的能量标扫描速率，以电子伏特每秒(eV/s)为单位
T
模拟检测器电子线路的时间常数，以秒(s)为单位

投稿会员：芳华