GB/T 21636-2021 微束分析 电子探针显微分析(EPMA) 术语

ICS01.040.71;71.040.99
CCS G04 GE
中华人民共和国国家标准
GB/T21636—2021/ISO23833:2013代替GB/T21636—2008
微束分析
电子探针显微分析(EPMA)术语

Microbeam analysis-Electron probe microanalysis (EPMA)-Vocabulary
(ISO23833:2013,IDT)
2021-12-31发布 2022-07-01实施
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布

1范围
本文件界定了电子探针显微分析(EPMA)实践中使用的术语，包括一般概念的术语和按仪器、分析方法分类的特定概念的术语。
本文件适用于相关领域(SEM、AEM、EDX等)的所有标准和实践文件中通用术语的定义。
2规范性引用文件
本文件没有规范性引用文件。
3缩略语
下列缩略语适用于本文件。
BSE:背散射电子(backscattered electron)
CRM:有证参考物质、标准样品(certified reference material)
EDS:能谐仪(energy-dispersive spectrometer)
EDX:能谱法(energy-dispersive X-ray spectrometry)
EPMA:电子探针显微分析(electron probe microanalysis)
电子探针显微分析仪(electron probe microanalyzer)
eV:电子伏(electron volt)
keV:千电子伏(kilo electron volt)
SE:二次电子(secondary electron)
SEM:扫描电子显微镜(scanning electron microscope)
WDS:波谱仪(wavelength-dispersive spectrometer)
WDX:波谱法(wavelength-dispersive X-ray spectrometry)

4电子探针显微分析用一般术语定义
4.1
电子探针显微分析electron probe microanalysis;EPMA
根据聚焦电子束与试样微米至亚微米尺度的体积相互作用激发射线的谱学原理，对电子激发体积内的元素进行分析的技术，
4.1.1
定性电子探针显微分析qualitative EPMA
通过标识X射线谱峰的方法来鉴别试样电子激发体积中元素组成的电子探针显微分析方法。

4.1.2
定量电子探针显微分析quantitative EPMA
对电子束激发区定性分析所鉴定的元素进行浓度测定的电子探针显微分析方法。
注：定量分析可以在相同条件下，对测量的未知试样X射线强度与标准物质的X射线强度相比较完成，或者根据基本原理计算浓度，后者也称为无标样分析。
4.2
电子探针显微分析仪electron probe microanalyzer;EPMA
基于电子激发X射线显微分析的仪器。
注：这种仪器通常配置一道以上的波谱仪和用于精确定位试样的光学显微镜，
4.3
电子散射electron scattering
具有一定能量的人射电子与试样中原子或电子相互作用后，其轨迹和/或动能发生改变的现象。
4.3.1
散射角angle of scattering;scattering angle
粒子或光子人射方向与这些粒子或光子经散射后的运动方向之夹角。
[来源：ISO18115-1:2010]
4.3.2
背散射backscattering
人射电子在试样中经多次散射后从试样入射面逸出。

投稿会员：芳华