YS/T 1235-2018 钼钛合金（MoTi）靶材
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所属分类：有色金属
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上传时间：2022-06-04
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ICS77.150.99
H63 YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T1235—2018
钼钛合金(MoTi)靶材
Molybdenum-titanium alloy target
2018-04-30发布 2018-09-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发布
1范围
本标准规定了电子薄膜用钼钛(MoT)合金靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输贮存、质量证明书及订货单（或合同）内容。
本标准适用于平板显示及太阳能产业电子薄膜用钥钛合金靶材。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法
GB/T4325.26钼化学分析方法第26部分：铝、镁、钙、钒、铬、锰、铁、钻、镍、铜、锌、砷、锅、锡、
锑、钨、铅和铋量的测定电感耦合等离子体质谱法
GB/T8651金属板材超声板波探伤方法
GB/T13298金属显微组织检验方法
GB/T14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
YS/T837溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件
3.1
靶材target
在溅射沉积技术中的阴极部分。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面沉积。
3.2
靶还target blank
阴极上用作溅射材料的部分
3.3
背板backing plate
用来支撑或固定靶材的部分。靶坯与背板可以通过焊接（如钎焊、电子束焊、扩散焊等）、机械复合、
粘接等方式连接。
4要求
4.1产品分类
4.1.1产品按照形状通常可分为圆形、矩形，示意图如图1所示。
4.1.2产品按照结构形式分为单体和焊接两种，靶材背板可包括铝合金、铜合金等，示意图如图2所示。
靶材背板不参与溅射，背板成分、规格等根据客户基台或图纸确定。
4.2化学成分
4.2.1产品中合金元素含量波动应不超过规定成分的士10%，合金元素含量波动范围由供方工艺保证。
4.2.2产品的成分及杂质元索要求应符合表1规定。