YS/T 1234-2018 铬钼合金（CrMo）靶材
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H63 YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T1234-2018
铬钼合金(CrMo)靶材
Chrome-molybdenum alloy target
2018-04-30发布 2018-09-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
1范围
本标准规定了工具薄膜用铬钼合金靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存和质量
证明书及订货单（或合同）内容。
本标准适用于工具薄膜制造用的各类铬钼合金靶材。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法
GB/T6394金属平均晶粒度测定方法
GB/T8651金属板材超声板波探伤方法
GB/T14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
YS/T837溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
SN/T2619金属铬中铝、锑、砷、铋、铜、铁、铅、硅、锡杂质元素的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件
3.1
靶材target
在溅射沉积技术中的阴极部分。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面沉积。
3.2
靶还target blank
阴极上用作溅射材料的部分。
3.3
背板backing plate
用来支撑或固定靶材的部分。靶坯与背板可以通过焊接（如钎焊、电子束焊、扩散焊等）、机械复合、
粘接等方式连接。
4要求
4.1产品分类
4.1.1产品形状通常为圆形，示意图如图1所示。
4.1.2产品按照结构形式分为单体和焊接两种，靶材背板可包括铝合金、铜合金等，示意图如图2所示。
靶材背板不参与溅射，背板成分、规格等根据客户基台或图纸确定。
4.1.3产品按照化学成分分为C90Mo10、Cr70Mo30两个牌号。