YS/T 1290-2018 多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法
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ICS77.040
H17 YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T1290—2018
多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定
气相色谱法
Determination of silane content in tail gas of polycrystalline silicon production-Gas chromatographic method
2018-10-22发布 2019-04-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发布
1范围
本标准规定了硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的气相色谱测定方法。
本标准适用于硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定。测定范围为0.05%~10.00%。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仪注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单适用于本文件
GB/T3723工业用化学产品采样安全通则
GB/T6681气体化工产品采样通则
3方法提要
多晶硅生产过程产生的尾气样品通过气体进样口注人气相色谱仪，硅烷组分经色谱柱分离后，用热导检测器检测，外标法定量，从而确定多晶硅生产尾气中硅烷的含量。
4干扰因素
4.1取样和进样前，取样系统和进样系统应经过充分置换，防止影响测试结果。
4.2取样钢瓶应保持密闭性，否则样品泄露会影响分析结果的准确性。
4.3尾气压力应保持在合适的范围，尾气压力0.03MPa~0.20MPa,流量不大于500mL/min。