YS/T 1358-2020 磁记录用铁钴钽合金溅射靶材

ICS77.150.99
H63 YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T1358—2020
磁记录用铁钴钽合金溅射靶材
FeCoTa alloy sputtering target used in magnetic recording

2020-12-09发布 2021-04-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发布

1范围
本标准规定了磁记录用铁钴钽合金溅射靶材的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。
本标准适用于6英寸~8英寸垂直磁记录硬盘、磁盘用铁钻钽合金靶材。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
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3产品分类
铁钻钽合金溅射靶材根据主成分含量的不同分为3个牌号：FeCoTa-1、FeCoTa-2、FeCoTa-3。
4技术要求
4.1产品形状

产品形状通常为圆形，或由需方提供图纸。
4.2化学成分
4.2.1产品的主成分含量应不小于99.95%。
4.2.2产品的化学成分应符合表1的规定。

4.3微观均匀性
产品中富铁相、富钴相和富钽相的大小应符合表2规定，且分布均匀，无单一相积聚。

4.4相对密度
产品的相对密度应不小于98%。
4.5弯曲强度
产品的弯曲强度应不小于700MPa。
4.6透磁率
相对于产品厚度6mm~10mm,产品的透磁率应达到20%~31%。
4.7内部质量
产品内部夹杂和气孔等缺陷面积应不大于总溅射面积的0.02%。需方如有特殊要求时，由供需双方商定。

投稿会员：芳华