YS/T 1371-2020 离子注入机用钨材
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H63 YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T1371—2020
离子注入机用钨材
Tungsten material for ion implanter
2020-12-09发布 2021-04-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发布
1范围
本标准规定了离子注入机用钨材（钨板和钨杆）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、
贮存、质量证明书和订货单（或合同）等内容。
本标准适用于离子注入机用钨板和钨杆。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
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3技术要求
3.1化学成分
产品的化学成分应符合表1规定。
3.2密度
3.2.1离子注入机用钨板
离子注入机用钨板的密度应符合表2规定。
3.2.2离子注入机用钨杆
离子注人机用钨杆的密度应符合表3规定。
4试验方法
4.1化学成分
4.1.1氧元素的含量按GB/T4324.25进行检验；氮元素的含量按GB/T4324.26进行检验；碳元素的含量按GB/T4324.27进行检验；氢元素的含量按GB/T14265进行检验。
4.1.2其他元素的含量按YS/T901进行检验。
4.2密度
产品的密度按GB/T3850进行检验。
4.3硬度
产品的硬度按GB/T4340.1进行检验，如有特殊要求，供需双方协商确定。
4.4尺寸
产品的尺寸采用满足分辨率要求的测量工具进行检测。
4.5表面粗糙度
产品的表面粗糙度按GB/T1031进行检验。