JJF 1967-2022 激光衍射法反射光栅校准规范
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JJF
中华人民共和国国家计量技术规范
JJF1967-2022
激光衍射法反射光栅校准规范
Calibration Specification for Reflection Gratings by Laser Diffraction
2022-04-29发布 2022-10-29实施
国家市场监督管理总局发布
1范围
本规范适用于平均间距为(140~2000)nm、能观测到衍射现象的一维或二维反
射光栅的校准。
2引用文件
本规范引用了下列文件：
GB/T13962一2009光学仪器术语
凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文
件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。
3术语和计量单位
3.1光栅grating
一种表面排列大量精细的、相互平行的、等距的、周期性的、相同的结构的光学器
件。其周期性结构既可以是直线阵列，也可以是沿直线排列的点阵。
注：此处光栅的定义与GB/T13962一2009《光学仪器术语》6.139中光栅的定义不同。此处的
定义仅针对被校准对象的特征。
3.2反射光栅reflection grating
入射光与衍射光在光栅工作面同一侧的衍射光栅。
3.3间距pitch
光栅上相邻结构之间的距离。
注1：单位为nm。
注2：一般用结构的中心距确定间距，有些情况下也可以用结构的边界确定间距。
3.4平均间距mean pitch
由光栅上多个间距确定的间距的平均值。
注：单位为nm。
3.5利特罗结构Littrow configuration
反射光栅衍射时，衍射光与入射光重合时的光路结构。
3.6利特罗角Littrow angle
当反射光栅的衍射光与入射光重合时的衍射角。
注：单位为rad。
3.7二维光栅正交性orthogonality of the2 D grating
二维光栅上沿横向排列的点阵与沿纵向排列的点阵之间的夹角。
注：单位为rad。
4概述
光栅利用光的衍射使光色散，色散角度取决于反射光栅平均间距和入射光的入射
角。在纳米几何量计量领域，光栅利用平均间距作为传递标准，被广泛应用于扫描电子
显微镜、扫描探针显微镜或光学显微镜等微纳测量仪器的放大倍数的校准。
光栅按结构可分为一维光栅和二维光栅。如图1所示，一维光栅结构是由大量等距
排列的刻槽或线条组成的，二维光栅结构是由按等距直线排列的点阵组成的。二维光栅
的间距是两条沿平行直线排列的点阵之间的距离。二维光栅的正交性是指沿横向排列的
点阵与沿纵向排列的点阵之间的夹角。