DB1310/T 227-2020 电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范
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ICS 31.030
L90 DB1310
廊 坊 市 地 方 标 准
DB 1310/T 227—2020
电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺 技术规范
2020 - 10 - 16 发布 2020 - 11 - 16 实施
廊坊市市场监督管理局 发 布
1 范围
本文件规定了电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、从业人员、设备、原辅材料、工 艺过程、环境要求和管理要求。
本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB 8978 污水综合排放标准
GB 12348 工业企业厂界环境噪声排放标准
GB 16297 大气污染物综合排放标准
GB 18597 危险废物贮存污染控制标准
GB 18599 一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准
GB 50034 建筑照明设计标准
GB 50073 洁净厂房设计规范
GBZ 2.1 工作场所有害因素职业接触限值（第一部分 化学有害因素）
GBZ 188 职业健康监护技术规范
GBZ/T 189.8 工作场所物理因素测量 第8部分：噪声
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1 电弧熔制 arc fusion
利用高温电弧熔融石英砂原料的过程
3.2 涂层 coating
在石英坩埚内壁或外壁涂覆特种材料的过程。
4 从业人员
4.1 职业健康
DB1310/T 227—2020 应按照GBZ 188的要求，对从业人员进行岗前、岗中、离岗职业健康体检，同时配备符合要求的个 体防护用品，保证从业人员符合职业健康安全管理要求。
4.2 岗位技能
从业人员应通过三级安全教育、岗位技能培训，经考核合格后方可上岗。