CS29.045 CCS H 82 中华人民共和国国家标准 B/T12963—2022 代替GB/T129632014 电子级多晶硅 Electronic-grade polycrystalline silicon 2022-12-30发布 2023-07-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T129632022 前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件代替GB/T12963—2014《电子级多晶硅》,与GB/T129632014相比,除结构调整和编辑 性改动外,主要技术变化如下: a)更改了适用范围(见第1章,2014年版的第1章); b)更改了牌号要求(见4.1,2014年版的4.1.1); c)更改了产品等级(见4.2,2014年版的4.1.2); d)更改了不同等级电子级多晶硅的技术指标(见5.1,2014年版的4.2) e)更改了结构要求(见5.3,2014年版的4.4); )更改了试验方法的内容(见第6章,2014年版的第5章); g)更改了检验项目的要求(见7.3,2014年版的6.3); h)更改了取样及制样的内容(见7.4.1,2014年版的6.4.1); i)更改了氧含量的检验结果判定(见7.5.2,2014年版的6.5.1): j)更改了标志的内容(见8.1,2014年版的7.1) k)更改了随行文件的内容(见8.5,2014年版的7.5) 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。 本文件起草单位:江苏鑫华半导体科技股份有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司、青 海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、有研半导体硅材料 股份公司、麦斯克电子材料股份有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有 限责任公司、新特能源股份有限公司、四川永祥新能源有限公司、上海赛夫特半导体材料有限公司、宜昌 南玻硅材料有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、东方电气(乐山)峨半 高纯材料有限公司。 本文件主要起草人:田新、蒋文武、赵培芝、万首正、李素青、秦榕、王彬、孙燕、贺东江、陈卫群、宗冰、 徐岩、邱艳梅、李斌、刘晓霞、张遵、付绪光、董先君、潘金平、张园园、雷聪。 本文件于1991年首次发布,1996年第一次修订,2009年第二次修订,2014年第三次修订,本次为 第四次修订。 GB/T129632022 电子级多晶硅 1范围 本文件规定了电子级多晶硅的牌号和类别、技术...
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