ics81.040.01 CCS N 05 中华人民共和国国家标准 B/T418052022 光学元件表面疵病定量检测方法 显微散射暗场成像法 Methodology for the quantitative inspection of the defect on optics surface-Microscopic scattering dark-field imaging 2022-10-12发布 2023-05-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 gB/T418052022 前言 本文件按照GB/T1.12020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国机械工业联合会提出。 本文件由全国光学和光子学标准化技术委员会(SAC/TC103)归口 本文件起草单位:浙江大学、杭州晶耐科光电技术有限公司、中国科学院大连化学物理研究所、中国 工程物理研究院激光聚变研究中心、中国科学院上海光学精密机械研究所、中国兵器工业标准化研究 所、江苏皇冠新材料科技有限公司、福建福特科光电股份有限公司 本文件主要起草人:杨甬英、曹频、李刚、杨李茗、刘旭、刘世杰、胡丽丽、徐晓飞、李炜娜、麦启波、 黄木旺。 gB/T41805-2022 引言 GB/T11852006是光学元件表面疵病目视法检测标准,其主要采用在强光或一定的光照条件 下,利用比较标板人眼目视观察确定疵病尺度的方法。目视法的主观性强且重复性差,落后的检测方法 已经严重制约现代科学研究及工业化在线检测的发展本文件保留GB/T11852006对光学元件表 面疵病的评定标准,提出显微散射暗场光学成像系统及数字化处理的定量评价方法,该标准的建立将为 我国对各类精密光学元件在加工工艺、光学镀膜、工业化在线检测等各个环节提供有效的数字化定量检 测方法。 本文件介绍了光学元件显微散射暗场成像中的术语及定义,描述了环形照明光源及显微散射暗场 成像系统组成的检测设备原理及搭建方法、试验条件、光学元件样品类型、图像采集、图像预处理图像 阈值分割、图像形态学处理、疵病分类、数字化定标方法、试验数据处理和检测报告形式,基本可适用于 所有光学元件表面疵病的定量化检测。 针对数字化的定量检测方法,在附录A中介绍了检测重复性与相对误差测量方法。针对大口径平 面光学元件的检测,在附录B中介绍了利用显微散射暗场成像的子孔径的扫描拼接方法。在附录C中 介绍了用于疵病尺度评价的比较标板的制作方法。 为避免技术壁垒,本文件中只推荐并介绍平面光学元件表面疵病定量检测装置的布局,对检测装置 如显微散射暗场光学成像系统、子孔径扫描所需的机械移导装置等具体结构类型不做限制,只要能满足 显微散射暗场成像环境即可。 ...
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