电子信息材料与器件国家级实验教学示范中心”系 系列规划教材 电子科学与技术专业实验教材系列丛书 电子材料制造技术 实验教程 贾利军韦敏赵晓辉主 科学出版社 “电子信息材料与器件国家级实验教学示范中心”系列规划教材 电子科学与技术专业实验教材系列丛书 电子材料制造技术实验教程 贾利军韦敏赵晓辉主编 中国科学技术大学 书馆 科学出版社 北京 内容简介 全书分上、下两篇,上篇为电子薄膜制备与测试分析,介绍真空技术、 镀膜工艺、薄膜生长及其表征技术等基础知识,具体阐述了直流磁控溅射 镀膜、真空热阻蒸发制膜、电子束蒸发制膜、射频磁控溅射制膜、薄膜的 表征及分析等六个基础实验的内容,并设计了基于薄膜材料的热电偶制作 与标定、类电容器结构薄膜器件制作和薄膜光电探测器制作等三个综合实 验项目;下篇为电子陶瓷制备与测试分析,介绍粉料制备、成型、烧结与 电子陶瓷材料结构表征等基础知识,详细阐述电子基板、介质移相器、热 敏电阻、功率电感、微波器件等用电子陶瓷材料制备与测试六个综合实验 项目的设计原理、实验方法与步骤、测试分析等内容。 本书可作为高等院校电子科学与技术、材料科学与工程等专业的实验 教材或参考书,也可供相关专业研究人员参考。 图书在版编目(CIP)数据 电子材料制造技术实验教程/贾利军,韦敏,赵晓辉主编一北京: 科学出版社,2019.6 电子信息材料与器件国家级实验教学示范中心系列规划教材 ISBN978-7-03-057650-7 1.①电Ⅱ.①贾②韦③赵Ⅲ.①电子材料实验高 等学校-教材.①N04-33 中国版本图书馆CIP数据核字(2018)第121727号 责任编辑:张展黄明翼/责任校对:彭映 责任印制:罗科/封面设计:墨创文化 斜出社出版 北京东黄城根北街16号 邮政编码:100717 http ://.sciencep. 四川煤田地质制图印刷厂印刷 科学出版社发行各地新华书店经销 2019年6月第一版开本:B5(720×1000) 2019年6月第一次印刷印张:10.25 字数:210000 定价:46.00元 (如有印装质量问题,我社负责调换) ...