JIS C 5630-30-2020 半导体器件 微机电器件 第30部分：MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法.pdf

JIS 人夕口及U MEMS一 第30部：MEMS压電薄膜0 電氨機械的变换特性测定方法 JISC5630-30:2020 (IEC62047-30:2017) (MMC/JSA) 合和2年3月23日制定 日本產業標準調查会審議 (日本規格協会凳行) 著作催法仁上無斯℃投见，松载等禁止态扎了书寸. C5630-30:2020(1EC62047-30:2017) 日本童業標準查会標準第二部会構成表 氏名 所属 (部会長) 大崎博之 東京大学 (委员) 青柳惠美子 公益社团法人日本消費生活了下八一口y儿夕少卜相具協会 伊藤智 一般社团法人情報处理学会情载规格查会 (国立研究開凳法人新工来儿羊一童案技術合開凳機) 岩测幸吾 一般社团法人電子情報技衔童業協会 内田富雄 一般财团法人日本规格協会 江崎正 IEC/SMB日本代表委具(y二一株式会社) 住谷淳吉 一般財团法人電氨安全環境研究所 高村里子 全国地域婦人团体速格協議会 田中一彦 一般社团法人日本電機工案会 橋爪弘 一般社团法人飞永久機械情報又宁么產業協会 平田真幸 IEC/CAB日本代表委具（富士书口y夕又株式会社） 藤原昇一般社团法人電学会 水本哲弥 東京工業大学 山根香 主婦速合会 主務大臣：释济座業大臣 制定：合和2.3.23 官報揭截日：令和2.3.23 原案作成者：一般財团法人了少口了七少夕一 (行101-0026束京都千代田区神田佐久間河岸67MBR99E儿TEL03-5835-1870) 一般财团法人日本规格会 (108-0073束京都港区三田3-13-12三田MT飞儿TEL03-4231-8530) 密部会：日本產粟標单查会標準第二部会（部会長大崎博之） 二规格仁2℃意見又法質法，上記原案作成者又释济產業省童業技術境局国際電氨標课（行100-8901 束京都千代田区霞办1-3-1)仁二連格《龙. 书，日本童業规格，童業標華化法规定仁上，少《七毛5年疑亨弓日℃二日本童業標準查会密 仁付机，速中加水，忍，改正又法晓止机东亨. 著作榴法二上℃灵，松载等法禁止℃扫， C5630-30:2020(IEC62047-30:2017) 目次 心一 序文 …1 1適用範…… …1 2引用規格…… 3用語及定義 4MEMS压電薄膜试装置 2 4.1一般 …2 4.2機能7口少夕及構成部品 …3 5試驗薄膜0测定… 4 5.1一般 4 5.2测定原理…… 4 5.3正压電定数0测定手順 4 5.4逆压電定数0测定手順……… 5 6試報告 *5 附属書A(参考)MEMS压電薄膜测定方法例 7 参考文献…… ……13 解說… 14 (1) 著作法上無断飞椒，耘截等禁止老教书末寸. ...