GB/T 33523.604-2022 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第604部分:非接触(相干扫描干涉)式仪器的标称特性.pdf

中华人民共和国,给排水,推荐性国家标准
文档页数:37
文档大小:12.71MB
文档格式:pdf
文档分类:推荐性国家标准
上传会员:
上传日期:
最后更新:

ICS17.040.20 CCS J 04 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T33523.604-2022/ISO25178-604:2013 产品几何技术规范(GPS) 表面结构区域法 第604部分:非接触(相干扫描干涉)式 仪器的标称特性 Geometrical product specifications (GPS)-Surface texture:Areal- Part 604:Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry)instruments (ISO25178-604:2013 IDT) 2022-12-30发布 2023-04-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T33523.604-2022/ISO25178-604:2013 目 次 前言………………… Ⅲ 引言…… … N 1范围………… …………………1 2规范性引用文件…………………………… ……………1 3术语和定义…………… ……1 3.1与区域表面结构测量方法相关的术语和定义…………………………1 3.2与X Y轴扫描系统相关的术语和定义………………… ……………5 3.3与光学系统有关的术语和定义 …………………7 3.4与工件光学特性有关的术语和定义………………………………………………8 3.5相干扫描干涉测量显微的专用术语和定义…… …………9 4影响量的描述………………… ……………………12 4.1总则………… ………….12 4.2影响量………… ………………….12 附录A(资料性)相干扫描干涉(CS)显微镜的概述和组件…………14 附录B(资料性)相千扫描干涉工作原理……17 附录C(资料性)空间分辨力………… …………24 附录D(资料性)表面形貌测量重复性评估过程示例……………28 附录E(资料性)与GPS矩阵模型的关系 ………29 参考文献 ……… ...

资源链接请先登录(扫码可直接登录、免注册)
①本文档内容版权归属内容提供方。如果您对本资料有版权申诉,请及时联系我方进行处理(联系方式详见页脚)。
②由于网络或浏览器兼容性等问题导致下载失败,请加客服微信处理(详见下载弹窗提示),感谢理解。
③本资料由其他用户上传,本站不保证质量、数量等令人满意,若存在资料虚假不完整,请及时联系客服投诉处理。

投稿会员:匿名用户
我的头像

您必须才能评论!

手机扫码、免注册、直接登录

 注意:QQ登录支持手机端浏览器一键登录及扫码登录
微信仅支持手机扫码一键登录

账号密码登录(仅适用于原老用户)