ICS07.030 CCS A42 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T42106-2022 纳米技术 三维纳米结构与器件的加工 方法离子束辐照诱导应变法 Nanotechnology-Fabrication of three dimensional nanostructures and devices-A strain method induced by ion beam irradiation 2022-12-30发布 2023-07-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T42106-2022 目次 前言………………… 引言…… Ⅱ 1范围………………… ……………………………………1 2规范性引用文件……… …………1 3术语、定义和缩略语……… …1 3.1术语和定义……………………………………………1 3.2缩略语…… ...………….1 4加工原理……………… ……2 4.1原理……… ……………2 4.2利用该加工原理可构建的三维纳米结构 ……………2 5材料与设备……………………………… ……………………3 5.1材料…………… …………………………3 5.2设备………… 6环境条件……………… ….……3 6.1温度………………………………………………3 6.2湿度………… ……….3 6.3洁净度…………… ………………………4 7加工方法…… …………………4 7.1衬底清洗………… ……4 7.2直立纳米线构建三维纳米结构的加工方法 ………………………………………4 7.3平面纳米薄膜构建三维纳米结构的加工方法……5 7.4保存…… ……5 GB/T42106—2022 前 言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. .本文件由中国科学院提出. 本文件由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口. 本文件起草单位：中国科学院物理研究所、国家纳米科学中心、深圳市标准技术研究院. 本文件主要起草人：顾长志、杨海方、李俊杰、刘前、王益群、樊阳波. I ...
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