GB/T 33523.604-2022 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第604部分：非接触（相干扫描干涉）式仪器的标称特性.pdf

ICS17.040.20 CCS J 04 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T33523.604-2022/ISO25178-604:2013 产品几何技术规范(GPS) 表面结构区域法 第604部分：非接触（相干扫描干涉）式 仪器的标称特性 Geometrical product specifications (GPS)-Surface texture:Areal- Part 604:Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry)instruments (ISO25178-604:2013 IDT) 2022-12-30发布 2023-04-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T33523.604-2022/ISO25178-604:2013 目 次 前言………………… Ⅲ 引言…… … N 1范围………… …………………1 2规范性引用文件…………………………… ……………1 3术语和定义…………… ……1 3.1与区域表面结构测量方法相关的术语和定义…………………………1 3.2与X Y轴扫描系统相关的术语和定义………………… ……………5 3.3与光学系统有关的术语和定义 …………………7 3.4与工件光学特性有关的术语和定义………………………………………………8 3.5相干扫描干涉测量显微的专用术语和定义…… …………9 4影响量的描述………………… ……………………12 4.1总则………… ………….12 4.2影响量………… ………………….12 附录A(资料性)相干扫描干涉(CS)显微镜的概述和组件…………14 附录B(资料性)相千扫描干涉工作原理……17 附录C(资料性)空间分辨力………… …………24 附录D(资料性)表面形貌测量重复性评估过程示例……………28 附录E(资料性)与GPS矩阵模型的关系 ………29 参考文献 ……… ...