ICS29.045 CCS H 82 G 中华人民共和国国家标准 GB/T12963—2022 代替GB/T129632014 电子级多晶硅 Electronic-grade polycrystalline silicon 2022-12-30发布 2023-07-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T12963-2022 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 本文件代替GB/T12963一2014《电子级多晶硅》,与GB/T12963一2014相比,除结构调整和编辑 性改动外,主要技术变化如下: a)更改了适用范围(见第1章,2014年版的第1章); b)更改了牌号要求(见4.1 2014年版的4.1.1); c)更改了产品等级(见4.2 2014年版的4.1.2); d)更改了不同等级电子级多晶硅的技术指标(见5.1 2014年版的4.2); )更改了结构要求(见5.3 2014年版的4.4); f)更改了试验方法的内容(见第6章,2014年版的第5章); g)更改了检验项目的要求(见7.3 2014年版的6.3); h)更改了取样及制样的内容(见7.4.1 2014年版的6.4.1); i)更改了氧含量的检验结果判定(见7.5.2 2014年版的6.5.1); j)更改了标志的内容(见8.1 2014年版的7.1); k)更改了随行文件的内容(见8.5 2014年版的7.5). 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本文件起草单位:江苏鑫华半导体科技股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、青 海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、有研半导体硅材料 股份公司、麦斯克电子材料股份有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有 限责任公司、新特能源股份有限公司、四川永祥新能源有限公司、上海赛夫特半导体材料有限公司、宜昌 南玻硅材料有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、东方电气(乐山)峨半 高纯材料有限公司. 本文件主要起草人:田新、蒋文武、赵培芝、万首正、李素青、秦榕、王彬、孙燕、贺东江、陈卫群、宗冰、 徐岩、邱艳梅、李斌、刘晓霞、张遵、付绪光、董先君、潘金平、张园园、雷聪. 本文件于1991年首次发布,1996年第一次修订,2009年第二次修订,2014年第三次修订,本次为 第四次修订. I GB/T12963—2022 电子级多晶硅 1范围 本文件规定了电子级多晶...
GB/T 12963-2022 电子级多晶硅.pdf
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