GB/T 25915.15-2022 洁净室及相关受控环境 第15部分：按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性.pdf

ICS13.040.35 CCS C70 G 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.15-2022/ISO14644-15:2017 洁净室及相关受控环境 第15部分：按气态化学物浓度评定 设备及材料的适用性 Cleanrooms and associated controlled environments- Part 15:Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration (ISO14644-15:2017 IDT) 2022-12-30发布 2023-07-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T25915.15-2022/ISO14644-15:2017 目 次 前言 Ⅲ 引言 ……V 1范围……… …….1 2规范性引用文件………………… ……………………1 3术语和定义………………………………………………1 4符号…………… ……3 5检测装置………………………………………………………4 6代表性模式……………… ……………6 7目视检查………… ………….7 8检测流程……7 9浓度的计算………… ………………………8 10特定释放速率的计算…………… ………8 11评定………… ……………9 12记录……………………………… …………………10 附录A(资料性)已安装设备的适用性评定示例…… ……12 附录B(资料性)洁净室或洁净区域已安装板壁材料的适用性评定计算示例……………13 附录C(资料性)设计阶段洁净室设备和地面材料适用性评定……14 参考文献 ………………………16 I “ ...