SJ 中华人民共和国电子行业标准 FL6190 SJ21242-2018 晶圆凸点电镀设备通用规范 General specification for wafer bump electro-plating platform 2018-01-18发布 2018-05-01实施 国家国防科技工业局发布 SJ21242-2018 前言 本规范由中国电子科技集团公司提出. 本规范由工业和信息化部电子第四研究院归口. 本规范起草单位：中国电子科技集团公司第二研究所. NFORMATION TECHNO 本规范主要起草人：魏红军、师开鹏、晁宇晴 SJ STANDARDS I SJ21242-2018 晶圆凸点电镀设备通用规范 1范围 本规范规定了晶圆凸点电镀设备的通用要求、质量保证规定和交货准备. 本规范适用于晶圆凸点电镀设备（以下 奇称设备)的设计、生产、检验和验收. 下列文件中的条RY AND INFORM 2规范性引用文件 见范的引用而成为本规范的条款.凡是注冒期的用文件，其随后的 修改单（不包含误的内容或修订版均不适用于本规范，然而，鼓励根据本规范达成协议的各方研究 是否可使用这文件的量新版本.凡不注期的引用文件，其最新版本适用本规范. GB/T 19 安全储运图示标志 GB2894 安全标志及其使用导则 GB/T159151-2010清净室及相关受控环境第1部分：空气洁净度等级 GJB151军用设备和 分系统电磁发射相敏感度要求与测量 GJB1188防护包装和 装箱等级 3要求 TECHNOLOG 3.1外形尺寸 除另有规定外皮备的长度不大于3m 宽度不大于1.5m 高度不大2 3.2颜色 2 3.2.1指示灯及按钮颜色 设备工作状态指示灯颜色及其含义见表，设备操作按钮颜色 及其含义见表2. 表设备工作状态指示灯的颜色及其含义 颜色 明 操作人员的操作 红 紧急 故障状况 立即对危险状态进行处理 黄 异常 异常/待运行 监视干预 绿 正常 正常状况 正常操作 注：表中颜色、含义、说明及操作人员操作系采用GB/T4025的规定. 表2设备操作按钮的颜色及其含义 颜色 含义 说明 操作人员的操作 红 紧急 危险或应急情况下的动作 紧急停止 黄 异常 异常情况下的动作 对抑制异常状况采取行动 重新启动已中断了的自动循环 绿 安全 为安全或为正常状况作准备的动作 蓝 指令性 需要采取动作的状况 复位功能 注：表中颜色、含义、说明及操作人员操作系采用GB/T4025的规定. ...
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