SJ 中华人民共和国电子行业标准 FL6190 SJ21257-2018 离子束溅射镀膜设备通用规范 General specification for ion beam film sputtering equipment 2018-01-18发布 2018-05-01实施 国家国防科技工业局发布 SJ21257-2018 前言 本规范由中国电子科技集团公司提出. 本规范由工业和信息化部电子第四研究院归口. 本规范起草单位：中国电子科技集团公司第四十八研究所. 本规范主要起草人：胡凡、陈特超、刘欣、龙长林. AHISININ SJ STANDARDS SJ21257-2018 离子束溅射镀膜设备通用规范 1范围 本规范规定了离子束溅射镀膜设备的通用要求、质量保证规定、交货准备. 本规范适用于离子束溅射镀膜设备（以下简称设备）的设计、生产、检验和验收. 2规范性引用文件 AND INFORM 下列文件中的条款通过本规范的引用而成为本规范的条款. 君注图期的引用文件，其随后的 修改单（不包含助误的内容）或修订版均不适用于本规范，然而、鼓同根据本规范达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本.凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本规范. GB/T191电包装储运家标活 GB2894安全标志及其使用导则 GB/T25915.12010 洁净室及相关受控环境第1部分空气洁净度等级 GJB151B2013军设备和分系统电磁发射和敏感度要求与测量 GJB1182-1991防包装和装箱等级 3要求 HIS CHNOLO 3.1外形尺寸 除合同有规定， 设备的长度应不大于3.5m 宽度应不大于1.5，管度应不大于2.2m. 3.2颜色 3.2.1指示灯及按钮颜色 设备指示灯的颜色及 其含义见表 设备按钮的颜色及其 1设备指示灯的颜色 具含 颜色 含义 说明 操作人员的操作 红 紧急 故障状况 立即对危险状态进行处理 黄 异常 异常 监视/干预 绿 正常 正常状况 正常操作 注：表中颜色、含义、说明及操作人员的操作符合GB/T4025-2010的规定. ...
SJ 21257-2018 离子束溅射镀膜设备通用规范.pdf
