SJ 中华人民共和国电子行业标准 FL6117 SJ21261-2018 MEMS惯性器件结构设计要求 Structural design requirements for MEMS inertial device 2018-01-18发布 2018-05-01实施 国家国防科技工业局发布 SJ21261-2018 前言 本标准由中国电子科技集团公司提出. 本标准由工业和信息化部电子第四研究院归口. 本标准起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 本标准主要起草人：徐淑静、杨拥军、杨志、李丽霞、任倩婷、胥超、卢新艳. AND INDUSTRY HO SJ STANDARDSI I SJ21261-2018 MEMS惯性器件结构设计要求 1范围 本标准规定了MEMS惯性器件敏感结构的设计要求. 本标准适用于硅基MEMS电容式加速度计和振动式陀螺仪敏感结构的设计. 2规范性引用文件 AND INFORA 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款.凡是注日期的引用文件，其随后的 修改单（不包含勘误的内容或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本.凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准. GB/T26111微电机系统(MMS)技术术语 GJB585惯性技术术语 3术语和定义 GB/T26111GB585确立的以及下列术语租定义适用于本标推 3.1 敏感结构 sensing structure 用于敏感外界加速度并将加速度信号转换为电信号的芯片单元. TECHNOLOG 3.2 质量块proof mass 能够将外界加速度转为沿输入轴的惯性力或绕输入轴的惯性力矩的有效质量 3.3 机械灵敏度mechanical sensitivity NDARD 敏感结构中质量块的位移变化量与输入信号变化量的比值 3.4 电容灵敏度capacitance sensitivity 敏感结构中电容变化量与质量块位移变化量的比值. 3.5 止档stopper 敏感结构中为避免质量块位移过大导致结构发生破坏而设置的限位结构. 3.6 锚点anchor 悬空结构与基底连接的点. ...
SJ 21261-2018 MEMS 惯性器件结构设计要求.pdf
