SJ 中华人民共和国电子行业标准 FL6117 SJ21263-2018 MEMS加速度传感器参数标定工艺 技术要求 Technical requirements for MEMS acceleration transducer parameter calibration process 2018-01-18发布 2018-05-01实施 国家国防科技工业局发布 SJ21263-2018 前言 本标准由中国电子科技集团公司提出. 本标准由工业和信息化部电子第四研究院归口. 本标准起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所. 本标准主要起草人：张佳寅、杨拥军、沈路、李丽霞、卞玉民、苏日丽、卢新艳. AND INDUSTRY ECHNOLO SJ STANDARDS SJ21263-2018 MEMS加速度传感器参数标定工艺技术要求 1范围 本标准规定了MEM加速度传感器制造过程中的人员、环境、安全、设备和仪器的一般要求，以及 工艺流程、工艺准备和参数标定的详细要求. 本标准适用于MEM加速度传感器制造过程中偏值、标度因数、偏值温度灵敏度、标度因数温度灵 敏度和带宽的标定. 2规范性引用文件 TRY AND INFORMA 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款.凡是注日期的引用文件，其随后的 修改单（不包含勘误的内容）或修版均不适用干本标准，然而 鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本.凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于术标准. GJB 585 惯性技术术语 GJB 300 防静电工作区技术要求 SJ21264-2018 MEMS加速度传感器测试方法 3术语和定义 ECHNOLO GJB585和S②264-2018中确立的以及下列术语和定义适用于本标准. 3.1 标定calibration 指在工艺过程中通过调整电路参数，确定加速度传感器的输入输出关系，使加速度传感器指标符 合技术要求的过程. 4一般要求 4.1人员要求 人员要求如下： a)操作人员应经过专业岗位技术培训，经考核合格后持相应的岗位资格证上岗： b)操作人员应穿戴防静电工作服和工作鞋帽，对静电敏感器件操作时应正确使用防静电装置，并 用防静电容器进行存放或转运： c)操作人员应熟悉MEMS加速度传感器标定工艺技术要求并严格按照工艺文件进行操作； d)操作人员应熟悉并执行相关的工艺卫生和安全条例，认真填写各种工艺记录. 4.2环境要求 4.2.1标定环境要求 标定环境温度、相对湿度、大气压、热环境、供电环境应符合产品要求，无特殊规定时标定环境要 求如下： 1 ...
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