SJ 21264-2018 MEMS 加速度传感器测试方法.pdf

加速度传感器,沈路,其他规范
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SJ 中华人民共和国电子行业标准 FL6117 SJ21264-2018 MEMS加速度传感器测试方法 Test methods for MEMS acceleration transducer 2018-01-18发布 2018-05-01实施 国家国防科技工业局发布 SJ21264-2018 目 次 前言 IⅡ 1范围 2规范性引用文件 .1 3术语和定义 .1 4一般要求 2 4.1环境要求 2 4.2 测试要求 4.3 测试设备、仪器 RYAN .2 2 4.4 测试工装、工具要求 3 5详细要求…… 3 5.1偏值… ORMATION TE 3 5.2标度因数 5.3阈值… SJ ….8 5.4 分辨率 CHN …9 5.5 偏值短期稳定性 10 5.6 标度因数短期稳定性 ..11 5.7偏值短期重复性 ...11 5.8 标度因数短期重复性 5.9偏值温度灵敏度 ….13 5.10 标度因数温度灵敏度 ….14 5.11 带宽…… .15 5.12 非线性度… ….15 5.13 横向灵敏度比 17 TADAR I SJ21264-2018 前言 本标准由中国电子科技集团公司提出. 本标准由工业和信息化部电子第四研究院归口. 本标准起草单位:中国电子科技集团公司第十三研究所. 本标准主要起草人:张佳寅、杨拥军、沈路、李丽霞、卞玉民、肖咸盛、王玉奎. II ...

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