中华人民共和国电子行业标准 FL6117 SJ21265-2018 MEMS陀螺仪参数标定工艺技术要求 Technical requirementsforMEMSgyroscope calibrationprocess 2018-01-18发布 2018-05-01实施 国家国防科技工业局发布
SJ21265-2018 前言 本标准由中国电子科技集团公司提出。
本标准由工业和信息化部电子第四研究院归口。
本标准起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所。
本标准主要起草人：王帆、杨拥军、李倩、李博、许鹏、董晓亮、王晓。
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SJ 21265-2018 MEMS陀螺仪参数标定工艺技术要求 1范围 本标准规定了MEMS陀螺仪制造过程中的人员、环境、安全、设备和仪器的一般要求，以及工艺流 程、工艺准备和参数标定的详细要求。
本标准适用于MEMS陀螺仪制造过程中的零偏、标度因数、零偏温度灵敏度和标度因数温度灵敏度 的标定。
2规范性引用文件 修改单（不包含勤误的内容）或 是否可使用这些 文件的最新版本。
凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。
惯性技术术语 ECHNOL GJB 585 GJB300 微静电工作区 技 SJ21266- -2018 MEMS防螺仪测试方法 3术语和定义 GJB585和SJ21266-2018确立的以及下列术语和定义适用于本标准。
3.1 标定calibratir 指在工艺过程中通道调整电路参数，确定陀螺仪的输入-输出关系，使陀螺仪指标符合技术要求的 过程。
STA 4一般要求 4.1人员要求 人员要求如下： a) ）操作人员应经过专业岗位技术培训，经考核合格后持相应的岗位资格证上岗； b) 操作人员应穿戴防静电工作服和工作鞋帽，对静电敏感器件操作时应正确使用防静电装置，并 用防静电容器进行存放或转运； c)操作人员应熟悉MEMS陀螺仪标定工艺技术要求并严格按照工艺文件进行操作； d）操作人员应熟悉并执行相关的工艺卫生和安全条例，认真填写各种工艺记录。
4.2环境要求 4.2.1标定环境要求 标定环境温度、相对湿度、大气压、热环境、供电环境应符合产品要求，无特殊规定时标定环境要 求如下：
SJ 21265-2018 a)环境温度：15℃~35℃； b）相对湿度：20%~80%； c）环境大气压：86kPa~106kPa; e）供电环境：供电电源的阻抗、电压、频率、纹波、预热及工作电流应符合产品要求。
4.2.2工作场所 工作场所要求如下： a）工作场所测试台的基础应稳定、振动小； b）防静电设施应满足GJB3007的要求； c）工作场所电磁环境、电路连接及接地应符合产品要求； d）工作场所应整洁有序，有良好的照明条件。
4.3安全要求 安全要求如下： a)检查水路、电路和气路，消除安全隐患； b）设备应接地应可靠、安全，具有防漏电保护措施； c)按设备操作规程进行操作，防止事故的发生。
4.4设备、仪器要求 常用设备、仪器如表1所示，设备仪器要求如下： a）设备应定期进行检定，仪器应定期进行校准，并在有效期内使用： b）仪器的测量范围应满足参数标定要求； c)测试设备接地应符合相关规定，以免陀螺仪在电、机械、热等方面过载或输入量过大； d）测试参数的容差与测试仪器精度的比值通常情况下不小于10:1：特殊情况下不小于4:1：由于 缺少相应国家标准，不能有效达到4:1时，应说明情况并形成文件。
e）搭建的标定系统应进行验证，确认能够满足产品参数标定要求； f) 标定用软件应进行软件验证，确认能够满足产品参数标定要求。
表1常用设备和仪器 名称 技术要求 用途 角速率转台 角速率精度、量程、稳定性应满足标定测试要求， 提供陀螺仪的角速率输入。
转台工作面应能与陀螺仪安装夹具可靠连接。
温控角速率转台 角速率精度及温度精度、量程、稳定性应满足测 提供陀螺仪的角速率输入及环境温度变 试要求，转台工作面应能与安装夹具可靠连接。
量。
角速率传感器输出测量/ 应能记录陀螺仪的输出，具备计时功能，精度应 记录设备 测量、记录陀螺仪的输出数据。
满足测试要求。
数字万用表 测量量程、精度应满足测试要求。
测量陀螺仪的工作电流。
直流稳压电源 电压量程、精度及纹波等参数应满足测试要求。
提供陀螺仪及其外围电路的工作电源。
4.5工具、工装要求 工具应完好无损、洁净，且工具尺寸规格应与待标定产品尺寸规格相适应，对影响标定结果的工装 夹具应定期进行验证，工装夹具的安装表面粗糙度应符合产品要求；工装夹具安装面之间、安装面与其 他设备安装面之间的垂直度和平行度应满足产品要求。
常用工具如下： a）力矩扳手； b）力矩螺...
