中华人民共和国电子行业标准 FL6114 SJ/Z21296-2018 印制板用照相底版制作和使用指南 Guideofphototool generation and useforprinted circuit boards 2018-01-18发布 2018-05-01实施 国家国防科技工业局发布
SJ/Z21296-2018 前言 本指导性技术文件由中国电子科技集团公司提出。
本指导性技术文件由工业和信息化部电子第四研究研归口。
本指导性技术文件起草单位：中国电子科技集团公司第十五研究所。
本指导性技术文件主要起草人：孙静静、郭晓宇、楼亚芬、陈长生。
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SJ/Z 21296-2018 印制板用照相底版制作和使用指南 1范围 本指导性技术文件规定了印制板用照相底版制作和使用的环境、设备、材料、操作和关键控制要求。
本指导性技术文件适用于计算机光绘照相底版的制作、检验与使用。
2规范性引用文件 ND 用文件，其随后的修政事 不包含勘误的内容）或修订版均不适 导性技术文件，然而，鼓 励根据本指导性技 减协议的各方研究是否可使用这些文件的 凡是不注日期的引用文 件，其最新版本 适用子 指导性技术 GB 25915 5.1-2010 洁净 第1部分：空气 等级 HG/T 42 39-201 印制 3环境 照相 版作 与使用环 满足以下条 a) 度 C±3 b) 对度 10% c) 大 kPa~106kPa。
3.2环境控制 照相底版制作与便用环境的温度和湿度以及洁净度的变化会影响绘制设备的生能以及底片的尺寸 性能等，并最终影响照相底版的质量。
照相底版制作与使用环境应满足设备制造商以及底片供应商提供 的温度、湿度、洁净度以及宴全光源的建议，并满足如下要求 a）照相底版在不同场所使用时，应尽可能确保环境的温湿度保 b）照相底版制作与使用环境的洁净度可根据所制造产品等级而有所不同，当无特殊要求时洁净度 应至少优于GB/T25915.1-2010中规定的ISO7级： c）照相底版制作环境的光源应符合底片供应商要求的防止底片曝光的安全光源。
4设备 4.1光绘机 光绘机应具有真空吸附功能，可将底片吸附在圆桶壁上。
其光源应与所用银盐底片相兼容。
光绘机 像素应能满足设计制造要求，其光圈应与所绘图形精度相匹配。
SJ/Z 21296-2018 4.2底片显影机 底片显影机应具有自动传输（手工显影时不要求）与温度控制功能，以满足底片显影、定影、水洗 与烘干的要求。
4.3底版检验工具 底版检验时可使用满足检验要求的放大镜、显微镜、光学测量设备、光密度计以及底版自动光学检 查仪AOI等设备。
4.4环境控制与检测设备 4.4.1温湿度测量设备设置 设置测量温湿度的设备时应注意以下事项： a）应避免放置在空气死角处； b）不应将测量设备放置在空气循环系统的进气山处。
4.4.2温度监控与湿度测量设备 用于温湿度监控的设备应定期校准并在校准有效期内使用，湿度测量设备应采用电子传感器测量且 精度应不小于土3%。
5材料 5.1底片 5.1.1一般要求 光绘照相底版用底片应符合HG/T4239-2011的规定，采用微粒银盐底片，底片结构主要由感光层和 片基组成（见图1）。
底片分辨率应满足印制板设计与制造要求。
底片应具有良好的尺寸稳定性，即由 于环境温度和（或）湿度变化而产生的尺寸变化最小。
店光层 片基 图1底片结构 5.1.2感光层 感光层是感光材料的主体，是对光线敏感的物质。
感光层中银盐结晶微粒应尽可能小，感光能力强， 反差大，灰雾小。
感光层应具有良好的清晰度和高分辨率。
5.1.3片基 片基起支撑感光层的作用，片基应具有高透明度、平整度和机械强度，底片应采用聚酯片基作为感 光层支撑体。
5.2试剂要求 5.2.1显影剂 显影剂应与底片配套，通常情况下显影剂应包含使感光银盐还原成金属银的还原剂、防止显影剂氧 化和深色液污染底片的保护剂和防止产生灰雾的防灰雾剂。
5.2.2定影剂 定影剂应与底片及显影剂配套，定影剂应包含络合剂、中和剂、保护剂、坚膜剂、加速剂和防污剂 等。
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SJ/Z 21296-2018 6操作 6.1照相底版制作流程 照相底版制作流程见图2。
底片预处理 底片光绘 底片冲洗 底版检验 图2照相底版制作流程图 6.2底片预处理 底片在光绘使用前应在照相底版制作环境中静置24h以上，以保证底片的尺寸稳定。
6.3底片光绘 6.3.1底片光绘操作 底片光绘过程应按照激光光绘机设备说明书进行操作。
6.3.2光源强度的设置 在光绘过程中，如果光源强度过高，则绘制的图形会出现光晕：如果光源的强度过低，则会绘制的 图形会曝光不足，显影...