中华人民共和国电子行业标准 FL6114 SJ/Z21297-2018 印制板图形成像指南 Guide of patternimagingforprinted circuit boards 2018-01-18发布 2018-05-01实施 国家国防科技工业局发布
SJ/Z21297-2018 前言 本指导性技术文件由中国电子科技集团公司提出。
本指导性技术文件由工业和信息化部电子第四研究院归口。
本指导性技术文件起草单位：中国电子科技集团公司第十五研究所。
本指导性技术文件主要起草人：赵鑫、孙静静、郭晓宇、楼亚芬、陈长生。
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SJ/Z 21297-2018 印制板图形成像指南 1范围 本指导性技术文件规定了印制板图形成像的环境、设备、材料、操作和关键控制要求。
本指导性技术文件适用于印制板干膜光致抗蚀剂法(简称干膜法)和液态光致抗蚀剂法(简称湿膜法) 图形成像。
2规范性引用文件 AND 下列文件中的务 未的条款。
凡是注日期的引 用文件，其随后所 有的修改 （不包含勘误的内容）或修订版均不适用 性技术文件，然而，鼓 励根据本指导 技术文件达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最 是不注日期的引用文 件，其最新版 本适用 本指条椎技木文 GB 162 染 合排放标准 GB 25 151201 洁 相关受控环第1部分：空气净度等级 GB 89 综合排 SJ21 板用光 兜范 SJ21 板用照 3环境 s 3.1一般要求 印制板图形成案生产车间环境应符合下列要求： a）应具有良好的通风，保证气体排放符合GB16297和当地环保要求； b）应具有污水处理系统 3.2贴干膜/涂覆湿膜、曝光及对位环境 贴干膜/涂覆湿膜、噪光及对位环境应符合下列要求： a)温度应为21℃±3C， %.09~%0 b) c) 照明光源应为不含紫外线的黄色灯光； （p 洁净度应至少优于GB/T25915.1-2010中规定的ISO7级。
4设备 4.1前处理设备 4.1.1刷板机 4.1.1.1磨料刷辊式刷板机 磨料刷辊式刷板机应符合下列要求：
SJ/Z 21297-2018 a）酸洗段应能去除在制板表面的氧化层和污染物； b）具有符合使用要求的磨刷系统： c)具备相应的水洗及高压水洗系统； d）具有足够大的风刀压力及加热系统，保证在制板表面及孔内干燥。
4.1.1.2浮石粉刷板机 浮石粉刷板机应符合下列要求： a）磨料浮石粉粒子与尼龙刷相结合应能去除在制板表面的污染物，形成完全砂粒化的、粗糙的、 均匀的沟槽，对铜表面起粗化作用； b）具备相应的水洗及高压水洗系统； c）具有足够的干燥系统，保证在制板表面及孔内干燥。
4.1.2化学清洗机 化学清洗机应符合下列要求： a）除油段应能去除在制板表面的氧化层和污染物； b）微蚀段能够对铜表面进行微蚀刻，获得平整且粗糙度一致的铜表面； c）具备相应的水洗及高压水洗系统： d）具有足够大的风刀压力及加热系统，保证在制板表面及孔内干燥。
4.2贴膜机 贴膜机应符合下列要求： a）根据干膜类型、性能、环境温度和湿度可调节贴膜温度； b）根据不同板厚的加工要求可调节贴膜压力； c)根据贴膜后板面温度可调节传送速度。
4.3曝光机 曝光机应符合下列要求： a）曝光能量可调节，能达到光致抗蚀剂最佳聚合的曝光能量控制要求； b）曝光灯光源波长应与光致抗蚀剂的光谱吸收区波长相适应： c)真空框架的真空度应能满足生产底版与光致抗蚀剂表面无间隙接触： d）曝光台面温度通常控制在15C～22C。
4.4显影机 显影机应符合下列要求： a）传送速度可调节； b）有喷淋系统，喷淋压力可调节； c）喷淋系统应具有良好的摆动，以满足光致抗蚀剂显影均匀要求。
4.5丝网印刷机 4.5.1手动印刷 手动印刷设备应符合下列要求： a）具有符合使用要求的网框夹持器、绞链和工作台； b）网框夹持器沿X轴、Y轴、Z轴可作移动调整并可以Z轴为心作角度转动调节； c)印制板和丝网之间的距离可调节。
4.5.2机器印刷 机器印刷设备应符合下列要求： a）网距、刮刀角度、刮刀压力和网印速度可调整； b）有强力吸气及三向微调的印刷台板； c）有自动回墨装置。
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SJ/Z 21297-2018 4.6烘箱 a)烘烤时间及温度可调节，以满足湿膜印料预烘的时间及温度要求； b）烘箱内部各部位温度应均匀，且带有鼓风和恒温控制，以达到温度均匀及湿膜印料的挥发要求； 5材料 5.1一般要求 印制板图形成像加工用化学品只能从合格供方采购，供货厂商应提供每一生产批产品的合格证以及 作为合格证依据的试验数据，并按规定进行到货检验。
配制显影溶液与除油溶液时所用化学药品应首选 化学纯。
5.2光致抗蚀剂 5.2....
