GB/T 20229-2022 磷化镓单晶.pdf

中华人民共和国,计数抽样检验程序,其他规范
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ICS29.045 CCS H 83 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T20229-2022 代替GB/T20229—2006 磷化镓单晶 Gallium phosphide single crystal 2022-03-09发布 2022-10-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T20229—2022 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 本文件代替GB/T20229一2006《磷化镓单晶》,与GB/T20229一2006相比,除结构调整和编辑性 改动外,主要技术变化如下: a)更改了适用范围(见第1章,2006年版的第1章); b)增加了“术语和定义”一章(见第3章); c)更改了牌号的表示方法(见第4章,2006年版的3.1); d)更改了掺杂n型磷化镓单晶锭的载流子浓度、电阻率要求(见5.1.1 2006年版的3.2.2); )增加了p型、半绝缘型磷化镓单晶锭的电学性能要求(见5.1.1); f)删除了磷化单晶锭直径的要求(见2006年版的3.2.4); g)增加了磷化镓单晶锭的位错密度要求(见5.1.3); h)删除了磷化镓单晶锭无孪晶线的要求(见2006年版的3.2.5); i)更改了磷化镓单晶研磨片位错密度的要求(见5.2.1 2006年版的3.3.2); j)增加了磷化镓单晶研磨片表面取向的要求(见5.2.2); k)更改了直径50.8mm磷化镓单晶研磨片的厚度及允许偏差要求(见5.2.3 2006年版的3.3.4); 1)增加了磷化镓单晶研磨片几何参数中翘曲度、总厚度变化、总指示读数的要求(见5.2.3); m)增加了直径63.5mm、76.2mm磷化镓单晶研磨片的几何参数要求(见5.2.3); )更改了磷化单晶研磨片表面质量的要求(见5.2.4 2006年版的3.3.3); 0)更改了试验方法(见第6章,2006年版的第4章); )更改了组批、检验项目、取样及检验结果的判定(见第7章,2006年版的第5章); q)更改了标志的要求(见8.1 2006年版的6.1); )更改了包装的要求(见8.2 2006年版的6.2、6.3); s)更改了随行文件的要求(见8.5 2006年版的6.5); t)增加了订货单内容(见第9章); u)增加了规范性附录“磷化镓单晶位错密度的测试方法”(见附录A). 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本文件起草单位:中国电子科技集团公司第十三研究所、有研国晶辉新材料有限公司、有色金属技 术经济研究院...

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