ICS29.045 CCS H 83 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T20229-2022 代替GB/T20229—2006 磷化镓单晶 Gallium phosphide single crystal 2022-03-09发布 2022-10-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T20229—2022 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 本文件代替GB/T20229一2006《磷化镓单晶》，与GB/T20229一2006相比，除结构调整和编辑性 改动外，主要技术变化如下： a)更改了适用范围（见第1章，2006年版的第1章）； b)增加了“术语和定义”一章（见第3章）； c)更改了牌号的表示方法（见第4章，2006年版的3.1）； d)更改了掺杂n型磷化镓单晶锭的载流子浓度、电阻率要求（见5.1.1 2006年版的3.2.2）； )增加了p型、半绝缘型磷化镓单晶锭的电学性能要求（见5.1.1）； f)删除了磷化单晶锭直径的要求（见2006年版的3.2.4）； g)增加了磷化镓单晶锭的位错密度要求（见5.1.3）； h)删除了磷化镓单晶锭无孪晶线的要求（见2006年版的3.2.5）； i)更改了磷化镓单晶研磨片位错密度的要求（见5.2.1 2006年版的3.3.2）； j)增加了磷化镓单晶研磨片表面取向的要求（见5.2.2）； k)更改了直径50.8mm磷化镓单晶研磨片的厚度及允许偏差要求（见5.2.3 2006年版的3.3.4）； 1)增加了磷化镓单晶研磨片几何参数中翘曲度、总厚度变化、总指示读数的要求（见5.2.3）； m)增加了直径63.5mm、76.2mm磷化镓单晶研磨片的几何参数要求（见5.2.3）； )更改了磷化单晶研磨片表面质量的要求（见5.2.4 2006年版的3.3.3）； 0)更改了试验方法（见第6章，2006年版的第4章）； )更改了组批、检验项目、取样及检验结果的判定（见第7章，2006年版的第5章）； q)更改了标志的要求（见8.1 2006年版的6.1）； )更改了包装的要求（见8.2 2006年版的6.2、6.3）； s)更改了随行文件的要求（见8.5 2006年版的6.5）； t)增加了订货单内容（见第9章）； u)增加了规范性附录“磷化镓单晶位错密度的测试方法”（见附录A). 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本文件起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、有研国晶辉新材料有限公司、有色金属技 术经济研究院...
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