GB/T 20230-2022 磷化铟单晶.pdf

中华人民共和国,计数抽样检验程序,其他规范
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ICS29.045 CCS H 83 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T20230-2022 代替GB/T20230一2006 磷化铟单晶 Indium phosphide single crystal 2022-03-09发布 2022-10-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T20230—2022 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 本文件代替GB/T20230一2006《磷化钢单晶》,与GB/T20230一2006相比,除结构调整和编辑性 改动外,主要技术变化如下: a)更改了适用范围(见第1章,2006年版的第1章); b)增加了“术语和定义”一章(见第3章); c)更改了磷化锢单品锭的牌号表示方法(见4.1 2006年版的3.1); d)增加了磷化单晶抛光片的牌号表示方法(见4.2); €)更改了磷化钢单晶锭电学性能的要求(见5.1.1 2006年版的3.2.2); f)增加了n型非掺磷化钢单晶锭的电学性能要求(见5.1.1); g)删除了磷化钢单晶锭晶向(111>以及其他晶向供需双方协商确定的规定(见2006年版的3.2.3); h)增加了磷化钢单晶锭位错密度的要求(见5.1.3); i)删除了磷化钢单晶锭无李品线的要求(见2006年版的3.2.4); j)删除了磷化锢单晶锭直径的要求(见2006年版的3.2.5); k)更改了磷化钢单晶抛光片位错密度的要求(见5.2.1 2006年版的3.3.1); 1)增加了磷化钢单晶抛光片表面取向及基准标记的要求(见5.2.2); m)增加了直径150.0mm磷化钢单晶抛光片的几何参数要求(见5.2.3); )更改了磷化钢单晶抛光片厚度、总厚度变化、翘曲度、总指示读数的要求(见5.2.3 2006年版 的3.3.2); o)更改了磷化钢单晶抛光片表面质量的要求(见5.2.4 2006年版的3.3.3); )增加了磷化单晶抛光片表面颗粒的要求(见5.2.5); q)删除了磷化单晶抛光片晶向的要求(见2006年版的3.3.5); )更改了试验方法(见第6章,2006年版的第4章); s)更改了组批、检验项目、取样及检验结果的判定(见第7章,2006年版的第5章); t)更改了标志的要求(见8.1 2006年版的6.1); u)更改了包装的要求(见8.2 2006年版的6.2、6.3); v)更改了随行文件的要求(见8.5 2006年版的6.5); w)增加了订货单内容(见第9章); x)增加了规范性附录“磷化钢单晶位错密度的测试方法”(见附录A). 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设...

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