ICS29.045 CCS H 83 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T20230-2022 代替GB/T20230一2006 磷化铟单晶 Indium phosphide single crystal 2022-03-09发布 2022-10-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T20230—2022 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 本文件代替GB/T20230一2006《磷化钢单晶》，与GB/T20230一2006相比，除结构调整和编辑性 改动外，主要技术变化如下： a)更改了适用范围（见第1章，2006年版的第1章）； b)增加了“术语和定义”一章（见第3章）； c)更改了磷化锢单品锭的牌号表示方法（见4.1 2006年版的3.1）； d)增加了磷化单晶抛光片的牌号表示方法（见4.2）； €)更改了磷化钢单晶锭电学性能的要求（见5.1.1 2006年版的3.2.2）； f)增加了n型非掺磷化钢单晶锭的电学性能要求（见5.1.1）； g)删除了磷化钢单晶锭晶向(111>以及其他晶向供需双方协商确定的规定（见2006年版的3.2.3）； h)增加了磷化钢单晶锭位错密度的要求（见5.1.3）； i)删除了磷化钢单晶锭无李品线的要求（见2006年版的3.2.4）； j)删除了磷化锢单晶锭直径的要求（见2006年版的3.2.5）； k)更改了磷化钢单晶抛光片位错密度的要求（见5.2.1 2006年版的3.3.1）； 1)增加了磷化钢单晶抛光片表面取向及基准标记的要求（见5.2.2）； m)增加了直径150.0mm磷化钢单晶抛光片的几何参数要求（见5.2.3）； )更改了磷化钢单晶抛光片厚度、总厚度变化、翘曲度、总指示读数的要求（见5.2.3 2006年版 的3.3.2)； o)更改了磷化钢单晶抛光片表面质量的要求（见5.2.4 2006年版的3.3.3）； )增加了磷化单晶抛光片表面颗粒的要求（见5.2.5）； q)删除了磷化单晶抛光片晶向的要求（见2006年版的3.3.5）； )更改了试验方法（见第6章，2006年版的第4章）； s)更改了组批、检验项目、取样及检验结果的判定（见第7章，2006年版的第5章）； t)更改了标志的要求（见8.1 2006年版的6.1）； u)更改了包装的要求（见8.2 2006年版的6.2、6.3）； v)更改了随行文件的要求（见8.5 2006年版的6.5）； w)增加了订货单内容（见第9章）； x)增加了规范性附录“磷化钢单晶位错密度的测试方法”（见附录A). 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设...
GB/T 20230-2022 磷化铟单晶.pdf
