GB/T 25915.1-2021 洁净室及相关受控环境 第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级.pdf

ICS13.040.35 CCS C70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.1-2021 代替GB/T25915.1一2010 洁净室及相关受控环境第1部分： 按粒子浓度划分空气洁净度等级 Cleanrooms and associated controlled environments-Part 1:Classification of air cleanliness by particle concentration (ISO14644-1:2015 MOD) 2021-08-20发布 2022-03-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T25915.1-2021 目 次 前言 Ⅲ 引言 V 1范围 1 2规范性引用文件 1 3术语和定义 1 4分级 4 5符合性的证明 5 附录A(规范性)按粒子浓度划分空气洁净度的基准方法 7 附录B(资料性)等级划分计算实例 11 附录C(资料性)悬浮大粒子的计数和测径17 附录D(资料性)序贯采样法 21 附录E(资料性)非整数洁净度等级和粒径值的说明27 附录F(资料性)检测仪器 29 参考文献 30 I GB/T25915.1-2021 前 言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草. 本文件是GB/T25915《洁净室及相关受控环境》的第1部分.GB/T25915已经发布了以下部分： —第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级； —第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测； —第3部分：检测方法； —第4部分：设计、建造、启动； —一一第5部分：运行； 一第6部分：词汇； —一第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）； 一第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级； ——第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级； ——第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级； —一第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求. 本文件代替GB/T25915.1一2010《洁净室及相关受控环境第1部分：空气洁净度等级》，与 GB/T25915.1一2010相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下： a)第1章增加了粒子测定仪器要求（见第1章）； b)增加了“规范性引用文件”（见第2章）； c)第3章术语和定义中： 一修改了洁净室、洁净区、分级、粒子等定义（见3.1.1、3.1.2、3.1.4、3.2.1 2010年版的2.1.1）； 一删除了超微粒子、纤维、U描述符、需方、供方等术语(2010年版的2.2.5、2.2.7、2.3.1、 2.5.1、2.5...