GB/T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境 第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级.pdf

ICS13.040.35 CCS C 70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.10-2021/ISO14644-10:2013 洁净室及相关受控环境第10部分： 按化学物浓度划分表面洁净度等级 Cleanrooms and associated controlled environments- Part 10:Classification of surface cleanliness by chemical concentration (ISO14644-10:2013 IDT) 2021-08-20发布 2022-03-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T25915.10-2021/ISO14644-10:2013 目 次 前言 Ⅲ 引言 1范围 1 2规范性引用文件 .1 3术语和定义 1 4分级 2 5化学污染的表面洁净度检测/测量、监测及符合性证明4 附录A(资料性)表面化学物各种浓度的换算 6 附录B(资料性)影响测试与结果的因素12 附录C(资料性)洁净度评定的基本要素 13 附录D(资料性)按化学物浓度测试表面洁净度的方法 14 E(资料性)测试报告 参考文献24 I GB/T25915.10-2021/ISO14644-10:2013 前 言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 本文件是GB/T25915《洁净室及相关受控环境》的第10部分.GB/T25915已经发布了以下 部分： 一第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级； 一第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测； —第3部分：检测方法； —第4部分：设计、建造、启动； 一一第5部分：运行； —第6部分：词汇； —第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）； —第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级； —第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级； —第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级； —第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求. 本文件等同采用ISO14644-10:2013《洁净室及相关受控环境第10部分：按化学物浓度划分表面 洁净度等级》. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319)提出并归口. 本文件起草单位：中国工程物理研究院激光聚变研究中心、深圳市吉隆洁净技术有限公司、苏州市 计量测试院、中国电子系统工程第二建设...