GB/T 25915.2-2021 洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测.pdf

ICS13.040.35 CCS C 70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.2-2021/ISO14644-2:2015 代替GB/T25915.2一2010 洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测 Cleanrooms and associated controlled environments-Part 2:Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration (ISO14644-2:2015 IDT) 2021-08-20发布 2022-03-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T25915.2-2021/ISO14644-2:2015 目 次 前言 Ⅲ 引言 V 1范围 1 2规范性引用文件 1 3术语和定义 1 4监测计划的制定、执行及持续改进 2 5按粒子浓度定期划分空气洁净度 3 附录A(资料性)制定监测计划考虑事项 4 附录B(资料性)设定预警值和干预值的考虑事项 7 参考文献 11 I GB/T25915.2-2021/ISO14644-2:2015 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草. 本文件是GB/T25915《洁净室及相关受控环境》的第2部分.GB/T25915已经发布了以下部分： —第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级； —第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测； —第3部分：检测方法； ——第4部分：设计、建造、启动； —第5部分：运行； —第6部分：词汇； —第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）； —第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级； —第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级； 一一第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级； —第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求. 本文件代替GB/T25915.2一2010《洁净室及相关受控环境第2部分：证明持续符合 GB/T25915.1的检测与监测技术条件》，与GB/T25915.2一2010相比，主要技术变化如下： a)修改了范围（见第1章，2010年版的第1章）； b)术语和定义中只保留了原来的检测、监测2个术语，删除了其他6个（见2010年版的第3章）， 增加了干预值、预警值2个术语（见3.3、3.4）； c)将“持续达到要求的证明”修改为“监测计划的制定、执行及持续改进”（见第4章，2010...