GB/T 25915.3-2010 洁净室及相关受控环境 第3部分：检测方法.pdf

ICS13.040.35 C70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.3-2010/ISO14644-3:2005 洁净室及相关受控环境 第3部分：检测方法 Cleanrooms and associated controlled environments- Part 3:Test methods (ISO14644-3:2005 IDT) 2011-01-14发布 2011-05-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T25915.3-2010/ISO14644-3:2005 目 次 前言 I Ⅱ 1范围 1 2规范性引用文件 1 3术语和定义 1 3.1一般术语 1 3.2空气悬浮粒子测量 .2 3.3空气过滤器和过滤系统 3.4气流 4 3.5静电测量 5 3.6测量器具和测量条件 5 3.7占用状态 6 4检测规程 7 4.1洁净室检测 .7 4.2原理 8 5检测报告 9 附录A(资料性附录)检测项目的选择和实施顺序 10 13 附录B(资料性附录)检测方法...... 附录C(资料性附录)检测仪器40 参考文献 53 GB/T25915.3-2010/ISO14644-3:2005 前言 GB/T25915《洁净室及相关受控环境》分为八个部分： 一一第1部分：空气洁净度等级； -一第2部分：证实持续符合GB/T25915.1的检测与监测技术要求； —第3部分：检测方法； 一一第4部分：设计、建造、启动； 一第5部分：运行； —第6部分：词汇； 一一第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器微环境）； 一一第8部分：空气分子污染分级. 本部分是GB/T25915的第3部分. 本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本部分使用翻译法等同采用ISO14644-3:2005《洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法》. 本部分由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319)提出并归口 本部分由苏州尚科洁净技术有限公司、上海科信检测科技有限公司、北京市产品质量监督检验所负 责起草，苏州英德尔室内空气技术有限公司、北京控制工程研究所、苏州克林络姆空调系统工程有限公 司、苏州工业园区宏基洁净科技有限公司、苏州高科净化有限责任公司、净微（苏州）科技有限公司、菜特 浩斯仪器（苏州）有限公司、深圳金开利环境科技有限公司参加起草. 本部分主要起草人：吴俊...