SJ 中华人民共和国第四机械工业部部标准 SJ2131-82 洁净工作台通用技术条件 1982-10一04发布 1983一01-01实施 中华人民共和国第四机械工业部批准 中华人民共和国第四机械工业部部标准 SJ2131-82 洁净工作台通用技术条件 本标准适用于各种电子元器件生产用工艺设备（如光刻、匀胶、扩散等）所配置的能 造成局部洁净空气环境的洁净工作台. 1技术要求 1.1洁净工作台操作区的洁净度为在外界每升空气中大于或等于0.5微米的尘埃粒数 小于或等于3500粒*的条件下，能达到每升空气中大于或等于0.5微米的尘埃粒数小于 或等于3.5粒. 1.2洁净工作台操作区的初始平均风速应为0.4~0.6米/秒.操作区的断面风速波动 范围应在平均风速的±20%范围之内. 1.3洁净工作台的噪音应小于或等于62分贝(A). 1.4平行流洁净工作台净化气流应均匀，流线平行. 1.5整体式洁净工作台振动的最大振福，根据工艺设备对振动的不同要求分为： 不大于1.5微米、不大于3微米和不作考核依据三级.具体要求应在产品标准中规 定. 1.6当所配用的工艺设备要求振动很小时，洁净工作台宜采用脱开式. 1.7当所配用的工艺设备产生有害气体时，洁净工作台应设有排气孔，将有害气体 善排出. 1.8洁净工作台外观油漆涂复应符合SJ/Z1793一81《电子工业专用设备油漆涂层技 术条件》的要求；金属镀层应符合SJ1276一77《金属镀层和化学处理层质量检验技术要 求》的要求. 1.9活净工作台的照皮、色彩应根据工艺要求确定，照度般不宝小于300勒克司， 光线应均匀柔和，避免眩光. 1.1)洁净工作台不应有卡滞、启动失灵，照明、指示灯具不亮等现象.机箱外壳应有 良好的接地装置，並有明显的接地标志. 1.11在用户遵守产品运输、保管、安装、使用要求的条件下，自用户收货日起一年内， 凡属制造厂原因造成损坏或不能正常工作时，制造厂负责页换. 2试验方法及检验规则 2.1沾净工作台总装完成后，应逐台进行2.2~2.7条所规定的各项检验，经检验合 格后方能出厂. 相当于美国联邦标准209B中的10万级. **相当于美国联邦标准209B中的100级. 中华人民共和国第四机械工业部1982一10一04发布 1983一01-01实施 一1一 SJ2131-82 2.2按照SJ/Z1793和SJ1276的有关规定检验洁净工作台的外观油漆涂复和金属镀 层质量，应符合1.8条要求. 2.3按照1.10条要求进行启动、照明、指示灯具及接地装置的稳定可靠检验. 2.4洁净工作台操作区洁净度的测定 在测定前需对洁净工作台操作区进行全面清扫并检漏，出风面周围边缘应严格防止泄 漏.测试点位置和数量按所配用的工艺设备操作需要确定.一般为9点，按操作区中心位 置对称均布，其中操作区边缘位置的测试点距操作区边缘各100...
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