SJ 中华人民共和国电子工业部部标准 SJ2593—85 高 纯四氯化硅 1985-07-31发布 1986-01-01实施 中华人民共和国电子工业部批准 中华人民共和国电子工业部部标准 SJ2593—85 高纯四氯化硅 木标准适用于生长半导体器件及集成电路的硅外延片和生产光通讯器件用光纤 予制件的四氯化硅. 1技术要求 1.1产品为无色透明液体. 1.2四氯化硅杂质成份应符合表1要求： 表1 杂质含量 (107%) 四氯化硅杂质元素 I级 Ⅱ级 硼 s0.1 s0.5 磷 sl <5 铁 sl 铜 ≤0.1 s0.1 s0.5 铬 s0.1 钛 ≤0.1 金屈杂质总含量≤10（其 铅 ≤0.5 中铁≤4，铜≤0.5) 锌 sl 铝 s1 镁 <0.5 钻 ≤0.5 s0.5 中华人民共和国电子工业部1985-07-31发布 1986-01-01实施 1 SJ2593-85 2试验方法 2.1高纯四氯化硅中硼及金属杂质按SJ2594-85《高纯四氯化硅中硼及金属杂质的 化学光谱分析方法》进行测定. 2.2高纯四氯化硅中痕量磷的含量按SJ2595-85《高纯四氯化硅中痕量磷的分光光 度比色测试方法》进行测定. 2.3需要时，可用本征外延综合检验四氯化硅的质量.即将1、Ⅱ级四氯化硅产品 在掺锑低阻硅单晶（电阻率≤9x10-32Cm)的衬底上.生长厚度40~50μ的N型外 延层，并用SJ1551-79电容电压法测量其载流子浓度小于4×1013个/cm3 电阻率在 1002cm以上者判定为合格品. 3检验规则 3.1供方按本标准的试验方法对产品进行检验，合格后方可出厂. 3.2需方发现产品有问题时，可在产品收到之日起30天内向供方提出，由双方协商 解决. 4包装标志及运输 4.1产品应包装在封闭严密的石英容器内.每瓶重量一般不超过3公斤. 4.2每个包装瓶上应有下列标记： a.生产厂的名称； b.生产日期及批号： c.净重； d.应贴上“强腐蚀剂”“小心轻放“及四氯花硅前标签. e 注明产品等级. 4.3产品在运输与储存的过程中保证安全可靠，不被沾污、避免震动，倒置及噪晒. ...
SJ 2593-1985 高纯四氧化硅.pdf
