ICS71.100.20 CCS G86 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T17874-2021 代替GB/T17874一2010 电子特气三氯化硼 Electronic specialty gas-Boron trichloride 2021-10-11发布 2022-05-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T17874-2021 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草. 本文件代替GB/T17874一2010《电子工业用气体三氯化硼》.与GB/T21287一2007相比，除 结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下： ——更改了三氯化硼应符合的技术要求（见第4章，2010年版的第3章）； —更改了检验规则的要求（见第5章，2010年版的4.1）； ——更改了纯度计算方法（见6.1 2010年版的4.2）； —更改了氧氩、氮、一氧化碳、二氧化碳甲烷含量的测定方法（见6.2 2010年版的4.4、4.5）； —增加了四氯化硅含量的测定方法（见6.2）； ——增加了氯气含量的测定方法（见6.3）； —增加了碳酰氯、氯化氢含量的测定方法（见6.4）； —更改了金属元素的测定方法（见6.5 2010年版的4.7）； —删除了颗粒的测定(2010年版的4.8)； —更改了标志、包装、运输及贮存（见第7章，2010年版的第5章）； 一一更改了安全信息（见7.3 2010年版的5.2）. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口. 本文件起草单位：大连保税区科利德化工科技开发有限公司、中吴光明化工研究设计院有限公司、 和立气体（上海）有限公司、太和气体（荆州）有限公司、广东华特气体股份有限公司、海宁市英德赛电子 有限公司、福建久策气体股份有限公司、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司、江西华特电子化学品 有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、沁阳国顺硅源光电气体有限公司、上海兄弟微电子技术有限公 司、浙江省化工研究院有限公司、吴华气体有限公司西南分公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处 (杭州国家电子商务产品质量监测处置中心)、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限 公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资（上海）有限公司、沈阳中复科金压 力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设 计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司. 本文件主要起草人：施旖旋、赵、孙福楠、梁永强、梁成科、阳辉、傅铸红、陈艳珊、丁高松、何经余、 曹索英、宋富...
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