ICS71.100.20 CCS G86 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T21287-2021 代替GB/T21287-2007 电子特气 三氟化氮 Electronic specialty gas-Nitrogen trifluoride 2021-10-11发布 2022-05-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T21287-2021 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 本文件代替GB/T21287一2007《电子工业用气体三氟化氮》，与GB/T21287一2007相比，除结 构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下： ——更改了三氟化氮应符合的技术要求（见第4章，2007年版的第3章）； —更改了抽样、判定和复验的要求（见5.1 2007年版的4.1）； —更改了采样的要求（见5.2 2007年版的4.1.6）； —增加了尾气处理的要求（见5.3）； —一增加了试验方法的一般规定（见6.1）； —一更改了纯度计算方法（见6.2 2007年版的4.2）； —更改了氧十氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、四氟化碳、氧化亚氮、六氟化硫含量的测定方法（见 6.3 2007年版的4.3、4.4)； —更改了水分含量的测定方法（见6.4 2007年版的4.6）； ——更改了可水解氟化物的测定方法（见6.5 2007年版的4.5）； —一更改了标志、包装、运输及贮存（见第7章，2007年版的第5章）； 一更改了安全信息（见7.3 2007年版的附录D). 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口. 本文件起草单位：吴华气体有限公司、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司、西南化工研究设计 院有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、福建久策气体股份有限公司、海宁市 英德赛电子有限公司、江西华特电子化学品有限公司、浙江省化工研究院有限公司、吴华气体有限公司 西南分公司、苏州金宏气体股份有限公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处（杭州国家电子商务产 品质量监测处置中心)、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有 限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资（上海）有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江 东开半导体科技有限公司、和立气体（上海）有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研 究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司. 本文件主要起草人：王娟、付梦月、王少波、孟祥军、傅铸红、陈艳珊、马建修、何经余、曹素英、 宋富财、苏子杰、丁高松、裴友宏、韦杰广、史婉君、张建君、王新喜、...
GB/T 21287-2021 电子特气 三氟化氮.pdf
