GB/T 25915.12-2021 洁净室及相关受控环境 第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求.pdf

ICS13.040.35 CCS C70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.12-2021/ISO14644-12:2018 洁净室及相关受控环境第12部分： 监测空气中纳米粒子浓度的技术要求 Cleanrooms and associated controlled environments-Part 12:Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration (ISO14644-12:2018 IDT) 2021-10-11发布 2022-05-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T25915.12-2021/ISO14644-12:2018 目 次 前言 引言 1范围 1 2规范性引用文件1 3术语和定义 4监测 .3 5检测报告 3 附录A(资料性)以凝结粒子计数器进行监测的参照方法5 附录B(资料性)粒子计数效率和分割粒径 8 参考文献 .10 GB/T25915.12-2021/ISO14644-12:2018 前 言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 本文件是GB/T25915《洁净室及相关受控环境》的第12部分.GB/T25915已经发布了以下 部分： ——第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级； ——第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测； ——第3部分：检测方法； —第4部分：设计、建造、启动； ——第5部分：运行； —第6部分：词汇； —第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）； —第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级； —第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级； ——第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级； ——第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求. 本文件等同采用ISO14644-12:2018《洁净室及相关受控环境第12部分：监测空气中纳米粒子浓 度的技术要求》. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319)提出并归口. 本文件起草单位：中天道成（苏州）洁净技术有限公司、中国电子工程设计院有限公司、苏州苏信环 境科技有限公司、苏州市计量测试院、江苏苏净工程建设有限公司、江苏嘉合洁净科技有限公司、中国标 准化协会、国家纳米科学中心、中国合格评定国家认可中心、南京天加...