GB/T 25915.2-2021 洁净室及相关受控环境 第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测.pdf

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ICS 13.040.35 CCS C70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.2-2021/ISO14644-2:2015 代替GB/T25915.2-2010 洁净室及相关受控环境 第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测 Cleanrooms and associated controlled environments-Part 2:Monitoring to provideevidenceofcleanroomperformancerelatedtoair cleanlinessbyparticle concentration (ISO14644-2:2015,IDT) 2021-08-20发布 2022-03-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
GB/T 25915.2-2021/ISO 14644-2:2015 目 次 前言 引言 1范围 ... 2规范性引用文件 3术语和定义. 4监测计划的制定、执行及持续改进 5按粒子浓度定期划分空气洁净度 附录A(资料性) 制定监测计划考虑事项 附录B(资料性) 设定预警值和干预值的考虑事项 参考文献
GB/T 25915.2-2021/ISO 14644-2:2015 前言 本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草。

本文件是GB/T25915《洁净室及相关受控环境》的第2部分。

GB/T25915已经发布了以下部分: 第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级; 一第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测; 第3部分:检测方法; 第4部分:设计、建造、启动; 第5部分:运行; 第6部分:词汇; 第7部分:隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境); 第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级; 一第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级; 一一第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级; 第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。

本文件代替GB/T25915.2-2010《洁净室及相关受控环境第2部分:证明持续符合 GB/T25915.1的检测与监测技术条件》,与GB/T25915.2一2010相比,主要技术变化如下: a)修改了范围(见第1章,2010年版的第1章); b)术语和定义中只保留了原来的检测、监测2个术语,删除了其他6个(见2010年版的第3章), 增加了干预值、预警值2个术语(见3.3、3.4); c)将“持续达到要求的证明”修改为“监测计划的制定、执行及持续改进”(见第4章,2010年版的 第4章); d)增加了“按粒子浓度定期划分空气洁净度"(见第5章)。

本文件等同采用ISO14644-2:2015《洁净室及相关受控环境第2部分:洁净室空气粒子浓度的监 测》。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。

本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319)提出并归口。

本文件起草单位:中国电子系统工程第二建设有限公司、江苏嘉合建设有限公司、天津泰达洁净材 料有限公司、深圳市丽风净化工程有限公司、苏州安泰空气技术有限公司、中国电子工程设计院有限公 司、陕西中电精泰电子工程有限公司、派欧尼尔环境净化工程(北京)有限公司、北检润和(北京)技术服 务有限公司、天俱时工程科技集团有限公司、苏州苏净仪器自控设备有限公司、天津大学、中国标准化协 会、中国建筑科学研究院有限公司、上海市室内环境净化行业协会、广东省洁净技术行业协会、苏州华泰 空气过滤器有限公司、深圳市朗奥洁净科技股份有限公司、上海市食品药品包装材料测试所、广东省实 验动物监测所、上海中增科教设备有限公司、深圳市君信达环境科技股份有限公司、上海誉净环保科技 有限公司、广州市微生物研究限公司、灵汇机电工程(杭州)有限公司、广西华原过滤系统股份有限 本文件主要起草人:施红平、王大千、刘俊杰、冯昕、龙军、王苑、谢敬伟、车玉伶、夏薇佳、吴志坚、 吴巍、王芳、张仲杰、王辉、耿文韬、王蓉、周占磊、童广才、邱济夫、黄韧、魏佳鸣、姚增玉、廖志铭、詹炼、 Ⅲ
GB/T 25915.2-2021/ISO 14644-2:2015 王华、张玉华、明飞平、程北川、于天、朱吉兴、邹再彬。

本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为: -2010年首次发布为GB/T25915.2-2010; 一本次为第一次修订。

GB/T 25915.2-2021/ISO 14644-2:2015 引言 构成。

一第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级。

目的是区分粒子污染程度。

一一第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测。

目的是指导监测粒子污染,以避免可能...

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