SJ/T 11510-2015 液晶显示器用铝腐蚀液.pdf

金属腐蚀,其他规范
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ICS31.030 L 90 S 备案号:50567-2015 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11510-2015 液晶显示器用铝腐蚀液 AluminumetchingsolutionforLCD 2015-04-30发布 2015-10-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布
SJ/T 11510-2015 前言 本标准是按照GB/T1.1一2009之规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)归口. 本标准起草单位:江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院. 本标准主要起草人:戈士勇、何珂 王周霞、 主香、装会川. SJ TECHNOL
SJ/T 11510-2015 液晶显示器用铝腐蚀液 1范围 本标准规定了液晶显示器用铝腐蚀液的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、 储存、运输等. 本标准适用于液晶显示器用铝腐蚀液,以下简称铝腐蚀液. 本标准不涉及使用安全性问题 适当的安全健康条款及使用范围的限 制. 2规范性引用文件 下列文件对 件.凡是不注日 文件 其最新版本(包括的修改单)适用于本 GB/T 191 包装 运图 GB/T 601 GB/T 602 剂 杂 制备 GB/T 603 化学 剂 试验 及想热的制备 GB/T 441 化工 密度、相对 GB/T 6678 产品 GB/T6681 分析 验室用水规 GB/T8170 约规则与极限数值的表示和判定 GB/T 9728 硫酸盐测定通用方法 GB/T 9729 款化物测定通用方法 LOGY GB/T 11446.1 电子级水 GB 15258 8化学品安全签编 育规定 GB 50472 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件. 3.1超纯硝酸ultrapure nitric acid 金属离子含量不大于1μg/L的硝酸.
SJ/T 11510-2015 4性状和技术要求 4.1性状 本试剂为无色的透明粘稠状液体,为磷酸、硝酸、乙酸和水按一定配比混合而成的混合液体,其中 磷酸含量允许偏差为±1.0%,硝酸含量允许偏差为±0.3%,乙酸含量允许偏差为±0.5%. 4.2技术要求 铝腐蚀液技术要求应符合表1的规定: 表1技术要求 项目 指标 酸值允许偏差(以H计) ±0.2* mmol/g 密度允许偏差(25℃) ±0.01* g/mL 颗粒(≥0.5um) ≤50 pcs/mL 颗粒(≥lum) 从10 pcs/mL 氯化物(CI) mg/kg 硫酸盐(SO) mg/kg 银(Ag) ≤300 μg/kg 砷(As) ≤300 μg/kg 砷(As) ≤300 μg/kg 金(Au) ≤300 μg/kg 钡(Ba) μg/kg 钙(Ca) ≤1000 μg/kg (Cd) ≤300 μg/kg 钻(Co) 0 μg/kg 铬(Cr) μg/kg 铜(Cu) ≤300 μg/kg 铁(Fe) μg/kg ≤300 汞(Hg) ≤300 μg/kg...

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