ICS 31.030 L90 SJ 备案号:50568-2015 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11511-2015 液晶显示器用正胶显影液 PositivePhotoresistdeveloperforLCD 2015-04-30发布 2015-10-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布
SJ/T11511-2015 前言 本标准是按照GB/T1.1一2009之规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)归口. 本标准起草单位:江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院. 本标准主要起草人:戈士勇、何珂 土周霞、 土香、 装会川. ATIONT SJ
SJ/T 11511-2015 液晶显示器用正胶显影液 1范围 本标准规定了液晶显示器用正胶显影液的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标 志、储存、运输等. 本标准适用于液晶显示器用正胶显影液,以下简称正胶显影液. 本标准不涉及使用安全性问题 本标准的使用 适当的安全健康条款及使用范围的限 制. AND 2规范性引用文件 下列文件对 件.凡是不注日 文 其最新版本(银括的修改单)适用于本 GB/T 191 包装 运图 GB/T601 剂 GB/T 601 剂 制备 GB/T 603 化学 式剂试验 GB/T605 式剂色度测定通用方法 GB/T 631 200 化学试 GB/T 667 产品彩材 GB/T6682 验室用水规格和试验方法 GB/T 8170 规则与极限数值的表示和判定 GB/T 9729 氯化物测定通用方法 GB/T 11446.1 子级水 GB15258化学品 写规定 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件. 3.1 超纯硝酸ultrapure nitric acid 金属离子含量不大于1μg/L的硝酸.
SJ/T11511-2015 4 性状和技术要求 4.1性状 本试剂为无色透明有刺激性氨味的碱性液体,为四甲基氢氧化铵的水溶液,四甲基氢氧化铵含量允 许相对偏差为±1.0%. 4.2技术要求 正胶显影液技术要求应符合表1的规定: 表1技术要求 项目 指标 色度 10 Hazen 颗粒(≥0.5um) 50 pcs/mL 氯化物(CI) ≤0.1 mg/kg 碳酸盐(CO) ≤100 mg/kg 银(Ag) 50 μg/kg 铝(AI) ≤50 μg/kg 砷(As)* ≤50 μg/kg 金(Au) μg/kg 硼(B)* 50 μg/kg 钡(Ba) ≤50 μg/kg 铍(Be)* 从50 μg/kg (Bi) 50 μg/kg 钙(Ca) 50 μg/kg 镉(Cd) ≤50 μg/kg 2
SJ/T 11511-2015 表1(续) 项目 指标 钻(Co) ≤50 μg/kg 铬(Cr) 以S0 μg/kg 铜(Cu) μg/kg 铁(Fe) μg/kg 镍(Ga)* ≤50 μg/kg 汞(Hg) μg/kg 铟(In)* ≤50 μg/kg 钾(K) S μg/kg 锂(Li) μg/kg 镁(Mg) MSO μg/kg 锰(Mn) μg/kg 钼(Mo) μg/kg 钠(Na) μg/kg 镍(Ni) μg/kg 铅(Pb) μg/kg 铂(Pt)* μg/kg 锑(Sb)* μg/kg 锡(Sn) μg/kg 锶(Sr) ≤50 μg/kg 3...